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第四種元素:銀 —《改變世界的七種元素》

PanSci_96
・2014/07/08 ・5283字 ・閱讀時間約 11 分鐘 ・SR值 504 ・六年級

一位法國的戲院設計師正在實驗銀的感光性,他使用塗了銀的銅板和碘。在 1835 年春天,達格赫把一片曝光過但失敗的銅板扔進櫥櫃,打算磨亮後再次使用。幾天後他回來看,發現影像奇蹟似的顯現了。 Public domain
利用鍍有薄銀的銅板和水銀進行顯影的技術稱為銀板照相法。 Public domain

感光的銀鹽,永恆的影像

在 1973 年紐約嚴熱的夏天裡,我花了好幾個週末的下午,在華盛頓廣場公園拍照。公園中央有一排西洋棋桌,那裡總是擠滿了老人,聚精會神盯著擺滿黑白棋子的棋盤看。我按下快門,光由這個城市的街景反射回來,射入打開的光圈,打在底片的鹵化銀上。光子打到的地方,形成純的銀原子,記錄下歷史的影像。

 把影像永久固定下來的想法,最早是由湯馬士.威基伍德(Thomas Wedgwood)在十八世紀末想出來的,他是英國有名的陶藝家約西亞.威基伍德(Josiah Wedgwood)的兒子。約西亞.威基伍德曾經使用暗箱把周遭的影像投射到屏幕上,好讓他快速又準確的把影像畫在陶器上。湯馬士.威基伍德思考如何永久保存這些影像,於是以硝酸銀進行實驗,因為 1725 年一位德國大學教授無意中發現硝酸銀具有感光性質。當初舒爾茲(Johann Schulze)教授在靠近紐倫堡的阿道夫大學(University of Altdorf)研究硝酸與白堊溶液(剛好含有一些銀)的性質。他在窗邊進行研究,那天是大晴天,光線射入他放溶液的透明瓶中。他突然注意到,面對窗戶那邊的混合物變成紫色,然而面對室內這邊仍然是白色。他想,也許是太陽的熱使溶液發生了化學反應。他又再試了一次實驗,只是這次把瓶子放在黑暗中。什麼也沒有發生。舒爾茲瞭解,一定是陽光的作用使混合物發生了變化,進一步研究之後,他發現銀是這個反應的重要元素。

湯馬士.威基伍德利用了這項發現。他在紙張上塗抹硝酸銀水溶液,然後把物體放在上面。接著把紙張放在陽光下曝曬,製造出物體的輪廓圖,但是陽光會逐漸把其餘部分的硝酸銀也變黑,最後影像就消失了。湯馬士.威基伍德遭受挫折,加上健康不佳,於是終止了實驗。還要再等上三十年,製造永久影像的攝影術才會發明出來。

1833 年 10 月,英國人泰爾包特(William Henry Fox Talbot)正在科莫湖(Lake Como)畔度蜜月。他嘗試用攝影描繪器把風景描繪下來,那是製圖者的一種輔助工具,利用稜鏡把風景的影像疊在紙上。他運氣不好。當他把眼睛由稜鏡移開時,發現「可惡的鉛筆只在紙上留下幾乎看不見的淡淡筆跡。泰爾包特想要找出比較好的科技,但是他顯然不知道湯馬士.威基伍德的實驗,所以回到家後,他開始使用塗了硝酸銀的紙製造葉子、花邊及其他平面物體的輪廓圖。

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但是和威基伍德發現的一樣,他無法阻止影像消失。有一天,他注意到紙的邊緣往往感光性較強,通常他只用一點點鹽水(為塗抹硝酸銀水溶液打底)處理那個地方。他發現,如果使用濃一點的鹽水,可以使紙的感光性變弱。而且他也體會到,如果把曝曬過的紙浸在濃鹽水裡,影像就可以固定在紙上。雖然有了重要進展,但仍然不算成功。由暗箱製造出來的影像太淡,無法深刻顯影。他又設計實驗,要改進紙的感光性,經由使用透鏡,把光線聚焦到較小的面積上,他可以製造出郵票大小的影像。這些影像「可以想像成是小人國畫家的作品」,泰爾包特寫道。他的發現比舒爾茲和湯馬士.威基伍德深入,但也和他們一樣,沒有理解到這項發現的意義;他把這發現放一邊,又去追求其他興趣了。

同一時間,在英吉利海峽的另一邊,一位法國的戲院設計師正在實驗銀的感光性,他使用塗了銀的銅板和碘。在 1835 年春天,達格赫(Louis-Jacques-Mandé Daguerre)把一片曝光過但失敗的銅板扔進櫥櫃,打算磨亮後再次使用。幾天後他回來看,發現影像奇蹟似的顯現了。原來是櫥櫃裡一個瓶子逸出的汞蒸氣使「潛在」的影像顯影了。當初這塊銅板曝光時,銀原子已經形成隱藏的影像,但是原子的數目太少,肉眼無法看見。汞蒸氣與潛影中的銀原子形成汞齊,就使影像看得見了。利用這個方法,達格赫能夠把曝光時間縮短到 20 分鐘,短到可以捕捉到靜止物體的清晰影像。1839 年 8 月 19 日,位於巴黎的法國科學院宣布這項發明的名稱為達格赫照相法(又稱銀版照相法)。好勝心很強的泰爾包特聽到這個消息後,很快就用一種新型的紙,發明了自己的潛影產生法,曝光時間只要 1 分鐘左右。他把這種新方法稱為碘化銀照相法。

自從威基伍德第一次企圖利用銀的感光性捕捉影像以來,已經大約過了四十年。現在有兩種成功而且相互競爭的商業產品;泰爾包特與達格赫很快就各自努力,要社會大眾相信,自己獨特的攝影方法有其優點。一開始泰爾包特在說服社會大眾時,遭遇到一點困難。它沒有辦法產生像銀版照相法那麼精細的影像,但是能在同一張負片上產生許多影像,這一點是銀版照相法辦不到的,銀版照相法只能拍攝昂貴的單一物件,例如為有錢人拍肖像。最後泰爾包特的發明勝出,也為流行達兩百年,以銀為基本材料的攝影術打下基礎。

柯達布朗尼相機使用了塗了溴化銀的明膠底片 CC by Cargado por Lefrancq
柯達布朗尼相機使用了塗了溴化銀的明膠底片
CC by Cargado por Lefrancq

因銀而起的柯達王國

我在新加坡拍下我的第一張照片時,只有四歲。當天是伊莉莎白二世的加冕典禮,曾經是大英帝國殖民地的新加坡,以今天稱為街頭派對的方式來進行慶祝。我拿著我的柯達布朗尼(Kodak Brownie)相機,拍家人、朋友的照片,只要拿到未曝光的底片,我就拿來照下看到的任何東西。我的布朗尼相機最後由更好的機型取代了,接著又換了一系列的相機,直到今天,我有一整套很棒的萊卡相機當攝影工具。這些機器持續幫我記錄行動的時刻以及值得回憶的場景,偶爾也會有佳作。

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柯達公司在 1900 年推出第一部布朗尼相機,名稱取自一組廣受歡迎的卡通人物,相機的簡單硬紙板外殼裡裝有一捲底片,方便攜帶,也容易使用,立刻獲得成功,尤其受到兒童歡迎。價格是五先令(大約是平均週薪的四分之一),幾乎人人都負擔得起。因為發明了塗布溴化銀的明膠底片,才有可能做出這種相機。明膠底片可以先曝光,且存放一段時間後才在工作室裡進行顯影,因此稱為「乾」片。「濕」的膠棉片,塗布、曝光與顯影必須在很短的時間內一口氣完成,因此攝影師無論走到哪裡,都必須攜帶笨重的工作設備。

柯達的創立者伊士曼(George Eastman),在 1877 年上了第一堂濕片法的課,很快就發現這方法不實用。「我的道具只含有一些必需品而已,裡面有肥皂箱那麼大的相機;一個三腳架,它既堅固又笨重,足以支撐一座小屋;一個大的底片盒、一頂黑色帳篷、一缸硝酸鹽,以及一個裝水的容器」。他讀到乾片發明的消息後,決定自己進行實驗。

到了 1879 年,他已經製造出自己的底片,這底片在沖洗前可存放的時間比市面上任何產品都久。但伊士曼還是不滿意,他的玻璃底片又重又脆又昂貴。伊士曼想把攝影術交到廣大群眾的手中,就像後來福特發明的 T 型車那樣。他想要「讓相機變得像鉛筆一樣方便」,但是要做到這一點,他必須發明一種更便宜、更簡單的攝影方法。結果他發明了「伊士曼負紙」—不使用玻璃,而使用紙卷捕捉影像。伊士曼底片可以裝入小小的黑盒子裡,他還設計了包住底片盒並只放基本零件的相機:透鏡固定在相機上,以拉動繩子的方式啟動快門。

柯達相機在 1888 年首度販售,價格為 25 美元(相當於今天的 600 美元)。產品大受歡迎,讓伊士曼能大規模生產相機,並因此把單價降下來。在 1896 年,柯達製造出第十萬部相機;那時候,每一部相機的價格只要 5 美元(相當於今天的 120 美元)。因為柯達相機簡單,又以人人能負擔的價格出售,所以它訴求的市場相當龐大。

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伊士曼做的,正是所有傑出的消費產品發明家做的。他讓使用者(攝影者)專心在他的目的(拍照)上,而把技術功能(顯影與沖印)變得不可察覺。伊士曼相機在賣出時,已經裝好一捲可拍一百張照片的底片,等拍攝完畢,使用者可以把底片繳回工廠。幾天後,處理好的負片會沖出照片,裝入相片簿送至消費者手裡。就像柯達的口號說的:「您只要按快門,其餘的交給我們。」到了第二年的年底,他的工廠每天要處理大約七百卷底片。現在,人人都可以成為攝影師了。

柯達相機讓每個人可以為個人歷史留下紀錄,也為他們最珍惜的時刻保存回憶。現在處處可以見到照片。照片不但變成普遍且可任意使用的物品,而且也是記錄世界大事的文件,並產生能塑造未來風貌的影像。

保存了決定性時刻

有些影像讓我們見識到殘酷、暴虐,令人難以忍受的畫面。有一幅越共戰俘的影像,記錄在處決前一刻,有一把槍頂住他的太陽穴,對我來說,這張照片就是越戰的同義詞。一群百姓在雜亂無章的盧安達難民營裡等待食物的影像,會永遠讓我想起那裡發生的種族屠殺。而虛弱的囚徒擁擠站在奧斯威辛(Auschwitz)集中營的有刺鐵絲網前的影像,描述著我們家族中許多成員在猶太大屠殺中遭遇的命運。

然而,還有其他影像顯示比較快樂的時光。我從窗戶俯瞰大運河時所拍的照片,企圖捕捉季節變換時威尼斯的色調。我的書桌前放著一張我拍的照片,拍攝對象是在佛羅倫斯的新聖母大殿的信徒。他們正在觀賞壁畫,那幅畫展現了透視圖法,是馬薩其奧(Masaccio)的作品。攝影大師塞西爾.畢頓(Cecil Beaton)有一幅如詩如畫的作品,是新加冕的女王伊莉莎白二世的照片,以西敏寺的雕梁畫棟為背景,目的是想為剛脫離二次大戰的大英帝國帶來一點歡樂。我們藉由照片,得知並記住世界上的重大事件。圖像創造共同的經驗;圖像為不同的世代之間畫下界線。

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到了第二次大戰爆發時,底片的感光性更加良好,也有更多可裝底片的攜帶式相機,攝影師因此可以跟隨士兵進入戰場,相對來說,較早期的戰地攝影師,如布雷迪(Mathew Brady)和芬頓(Roger Fenton),他們在十九世紀的設備,受拍攝的對象必須靜止不動才照得起來。1944 年盟軍進攻諾曼第時,戰地攝影師卡帕(Robert Capa),隨第二波部隊登陸。英吉利海峽水深及腰,機關槍的子彈在他周圍濺起水花,卡帕拍下了數張登陸日的關鍵性影像。「如果你拍的照片不夠好,表示你靠得不夠近,」卡帕說。

相片可以捕捉世界上瞬間即逝的影像,如果沒有銀,你只能留下模糊的回憶。「當你拍照時,那是創造性的一剎那,」多產又技術高超的攝影師布雷松在 1957 年解釋:「生活本身會提供給你一幅構圖或一個表情,你必須靠著直覺判斷,什麼時候該按下相機按鈕。」

在正確的時候按下快門,創造出的影像揭露了平民百姓如何被捲入越戰。敵人不再是沒有面目的怪獸,而是受苦受難的人類,說不定與觀看照片的人有所關聯。經由揭露世界另一端的普遍人性,攝影術喚醒了全球的社會良心。艾迪.亞當斯(Eddie Adams)在 1968 年拍的照片「西貢槍決」,揭露了上文所說的情形,激起抗議怒潮反對畫面中呈現的情況:越南將軍不加思索的謀殺了一名無辜的百姓。這張照片也展示了攝影術扭曲事實真相的威力。艾迪.亞當斯解釋:「將軍殺了越共;我用相機殺了將軍。靜止的照片是世界上威力最強大的武器。人們相信照片;但是照片會說謊,甚至連造假都不必。照片只說出一半的事實⋯⋯照片沒說出來的是,『如果你是將軍,在那種時空情境下,在那樣炎熱的天氣中,在那個所謂的壞蛋剛剛轟掉一個、兩個或三個美國人之後,你正好抓到他,你會怎麼做?』」

雖然照片已經非常忠實的呈現事實,但是它並不真的是可靠的資料來源。影像可能會,也確實會騙人。大家都知道,史達林以修改照片做為排除黨內政敵的手段;當某些部長被選定為應該排除的對象時,就會從照片中消失。中國共產黨也同樣大量使用暗房技巧扭曲事實。

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然而,可靠的資料來源會提供吸引人的真實影像。1994 年,攝影記者薩爾加多(Sebastião Salgado)在盧安達西南方的基貝霍(Kibeho)難民營待了三天。每天有數百名難民為逃避強暴與謀殺,從軍閥手裡逃到此處。薩爾加多所看到的景象,令他大為震撼:「恐怖事件的規模好像已經讓人們對死亡麻木了。我看到一個人手臂裡抱著一綑東西,一邊走一邊和其他人聊天。當走到萬人塚時,他把自己小孩的屍體扔進屍堆,然後掉頭就走,繼續聊天。」身為經濟學碩士,薩爾加多想用影像描述世界上窮人的生活,呈現統計數字背後的真相。影像展示比訴說更有力:人類受苦的生動影像,比寥寥幾字的政治宣言更能打動人心,喚起令人感傷、感動的私密細節。因此,照片會驅使觀看者採取行動。

對我來說,除了攝影之外,銀還有其他能力可以保存珍貴的回憶。在我書房的茶几上有三個波斯銀盒,那是我父母在 1960年代離開伊朗時收到的臨別饋贈。它們設計精美,由錘版塑成,這種技術是靠著敲打金屬的背面,造成淺淺的浮雕效果。它們為我在伊朗生活的那幾年帶來生動的回憶:燃燒天然氣造成的焰火和噪音、油田在夜晚發出的火光,當然還有我們去拜訪銀匠的回憶,那人在一間小屋裡,盤著腿熟練的工作著。無論是做成裝飾品、勳章或珠寶,銀總是能保存回憶。但是它也一直是保值的工具。1970 年代,當銀攝影術正在流行時,有兩兄弟為了幫他們驚人的財富找到安全的避風港,結果造成銀的價格飆漲到空前未有的水準。

本文摘自《改變世界的七種元素》,由天下文化出版

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從奈米微塵到化學氣體, HEPA 與活性碳如何聯手打造純淨空氣?
鳥苷三磷酸 (PanSci Promo)_96
・2026/04/17 ・4433字 ・閱讀時間約 9 分鐘

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本文由 Amway 委託,泛科學企劃執行。

很多人可能沒想到,無論是家用的空氣清淨機,還是造價動輒百億的頂尖晶圓廠,它們對抗污染的核心武器並非什麼複雜的雷射防護罩,而是一片外觀像紙一樣的 HEPA 濾網
在半導體產業的無塵室中,「乾淨」的定義極其殘酷:一粒肉眼看不見的灰塵,就足以讓造價數百萬美元的晶圓直接報廢 / 圖片來源:envato

到底怎樣才算是「乾淨」?這不是什麼靈魂拷問,而是一個價值上億的商業命題。

在半導體產業的無塵室中,「乾淨」的定義極其殘酷:一粒肉眼看不見的灰塵,就足以讓造價數百萬美元的晶圓直接報廢。空氣品質的好壞,甚至能成為台積電(TSMC)決定是否在當地設廠的關鍵性指標。回到你的家中,雖然不需要生產精密晶片,但我們呼吸系統中的肺泡同樣精密,卻長期暴露在充滿 PM2.5、病毒以及各種揮發性氣體的環境中。為了守護健康,你可能還要付費購買「乾淨的空氣」來用。

因此,空氣議題早已超越單純的環保範疇,成為同時影響國家經濟與個人健康的重要問題。

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很多人可能沒想到,無論是家用的空氣清淨機,還是造價動輒百億的頂尖晶圓廠,它們對抗污染的核心武器並非什麼複雜的雷射防護罩,而是同一件看起來平凡無奇的東西:一片外觀像紙一樣的 HEPA 濾網。但你真的相信,就憑這層厚度不到幾公分的板子,能擋住那些足以毀滅精密晶片、滲透人體細胞的「奈米級刺客」嗎?

這片大家都聽過的 HEPA 濾網,裡面到底是什麼?

首先,我們必須打破一個直覺上的誤解:HEPA 濾網(High Efficiency Particulate Air filter)在本質上其實並不是一張「網」。

細懸浮微粒 PM2.5,是指粒徑在 2.5 微米以下的污染物,它們能穿過呼吸道直達肺泡,並穿過血管引發全身性發炎。但這只是基本,在工廠與汽車尾氣中,還存在粒徑僅有 1 微米的 PM1,甚至是小於 0.1 微米的「超細懸浮微粒」(UFP,即 PM0.1)。 UFP 不僅能輕易進入血液,甚至能繞過血腦屏障(BBB),進入大腦與胎盤,其破壞力十分可怕。

如果 HEPA 濾網像水槽濾網或麵粉篩一樣,單靠孔目大小來「過濾」粒子,那麼為了攔截奈米微粒,濾網的孔目只能無限縮小到幾乎不透氣的程度。更別說在台積電或 Intel 的製程工程師眼裡,一般人認為的「乾淨」,在工程師眼裡簡直像沙塵暴一樣。對於線寬僅有 2 奈米3 奈米(相當於頭髮直徑萬分之一)的晶片而言,空氣中一顆微小的塵埃,就是一顆足以毀滅世界的隕石。

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因此,傳統的過濾思維並非治本之道,我們需要的是原理截然不同的過濾方案。這套技術的雛形,最早可追溯至二戰時期的「曼哈頓計畫」。

HEPA 的前身,誕生於曼哈頓計畫!

1940 年代,製造濃縮鈾是發展原子彈的關鍵。然而,若將排氣直接排向大氣,會導致致命的放射性微粒擴散。負責解決這問題的是 1932 年諾貝爾化學獎得主歐文·朗繆爾(Irving Langmuir),他是薄膜和表面吸附現象的專家。他開發了「絕對過濾器」(Absolute Filter),其內部並非有孔的篩網,而是石綿纖維。

有趣的來了,如果把過濾器放到顯微鏡下,你會發現纖維之間的空隙,其實比某些被攔截的粒子還要大。那為什麼粒子穿不過去呢?這是因為在奈米尺度下,物理規則與宏觀世界完全不同。極微小的粒子在空氣中飛行時,並非走直線,而是會受到空氣分子撞擊,而產生「布朗運動」(Brownian Motion),像個醉漢一樣東倒西歪。

當粒子通過由緻密纖維構成的混亂迷宮時,布朗運動會迫使它們不斷轉彎、移動,最終撞擊到帶有靜電的纖維上。這時,靜電的吸附力會讓纖維就像蜘蛛網般死死黏住微粒。那些狂亂移動的奈米刺客,就這樣被永久禁錮迷宮中。

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現在最常見的 HEPA 材料,是硼矽酸鹽玻璃纖維。

現代 HEPA 濾網最常見的核心材料為硼矽酸鹽玻璃纖維。這些玻璃纖維的直徑通常介於 0.5 至 2 微米之間,它們在濾網內隨機交織,像是一座茂密「黑森林」。微粒進入這片森林後,並非僅僅面對一層薄紙,而是得穿越一個具有厚度且排列混亂的纖維層,微粒極有可能在布朗運動的影響下撞擊並黏附在某根玻璃絲上。

除此之外,HEPA 濾網在外觀上還有一個極具辨識度的特徵,那就是像手風琴般的摺紙結構。濾材會被反覆摺疊、摺成手風琴的形狀,中間則用鋁箔或特殊的防潮紙進行結構支撐,目的是增加表面積。這不僅為了捕獲更多微粒,而是要「降低過濾風速」。這聽起來可能有點反直覺:過濾不是越快越好嗎?

其實,這與物理學中的流速控制有關。想像一條水管,如果你捏住出口,水流會變得湍急;若將出口放開並擴大,雖然總出水量不變,但出水處的流速會變得緩慢。對於 HEPA 濾網而言,當表面積越大,單位面積所需承載的空氣量就越少,空氣穿透濾網的速度也就越低。

低流速代表微粒停留在濾網內的時間也更久,增加被捕捉的機會。此外,越大的表面積也為 HEPA 濾網帶來了高「容塵量」,延長了使用壽命,這正是它能夠稱霸空氣清淨領域多年的主因。

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然而,即便都叫做 HEPA 高效率空氣微粒子過濾網 (High Efficiency Particulate Air filter),但每個 HEPA 的成分與結構還是會不一樣。例如 安麗逸新空氣清淨機 SKY ,其標榜「可過濾粒徑最小至 0.0024 微米」的污染物,去除率高達 99.99%。

0.0024 微米是什麼概念?塵蟎、花粉、皮屑或黴菌孢子,大小約在 2 至 200 微米;細懸浮微粒  PM2.5 大小約 2.5 微米,細菌也大概這麼大。最小的其實是粒徑小於 0.1 微米的「超細懸浮微粒」,大多數的病毒(如流感、新冠病毒)都落在此區間。對安麗逸新 的HEPA濾網來說,基本上通通都是可被攔截的榜上名單。

在過敏防護上,它更獲得英國過敏協會(Allergy UK)認證,能有效處理 19 大類、102 種過敏原,濾除空氣中超過 300 種氣態與固態污染物。

同樣的過濾邏輯一旦進入半導體無塵室,就必須換一條更為嚴苛的技術路線。因為硼矽酸鹽玻璃纖維對晶圓來說有個致命傷,就是「硼 (Boron)」 / 圖片授權:Shutterstock

然而,同樣的過濾邏輯一旦進入半導體無塵室,就必須換一條更為嚴苛的技術路線。因為硼矽酸鹽玻璃纖維對晶圓來說有個致命傷,就是「硼 (Boron)」。

在半導體製程中,硼是常見的 P 型摻雜物,用來精準改變矽晶圓的電性。如果濾網有任何微小的破損、老化或化學侵蝕,進而釋放出極微量的硼離子,就可能直接污染晶圓,改變其導電特性,導致晶片報廢。

此外,無塵室要求的是比 HEPA 更極致的 ULPA(超低穿透率空氣濾網) 等級的潔淨度。ULPA 的標準通常要求對 0.12 微米 的粒子達到 99.999% 甚至 99.9999% 的超高攔截率。在奈米級的競爭中,任何多穿透的一顆微塵,都代表著一筆不小的經濟損失。

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為了解決「硼」的問題並追求極限的過濾效率,材料學家搬出了塑膠界的王者,PTFE 也鐵氟龍。鐵氟龍不僅耐酸鹼、耐腐蝕,還能透過拉伸製成直徑僅 0.05 至 0.1 微米 的極細纖維,其細度遠勝玻璃纖維。雖然 PTFE 耐化學腐蝕,但它既昂貴且物理上也很脆弱,安裝時若不小心稍微觸碰,數萬元的濾網就可能報銷。因此,你只會在晶圓廠而非一般家庭環境看到它。

即便如此,在空氣濾淨系統中,還有一樣是無塵室和你家空氣清淨器上面都有的另一張濾網,就是活性碳濾網。

活性碳如何從物理攔截跨越到分子吸附?

好不容易將微塵擋在門外時,危機卻還沒有解除。因為空氣中還隱藏著另一類更難纏的大魔王:AMC(氣態分子污染物)

HEPA 或 ULPA 這類物理濾網雖然能攔截固體微粒,但面對氣態分子時,就像是用網球拍想撈起水一樣徒勞。這些氣態分子如同「幽靈」一般,能輕易穿過物理濾網的縫隙,其中包括氮氧化物、二氧化硫,以及來自人體的氨氣與各種揮發性有機物(VOCs)。

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為了對付這些幽靈,我們必須在物理防線之外,加裝一道「化學濾網」。

這道防線的核心就是我們熟知的活性碳。但這與烤肉用的木炭不同,這裡使用的是經過特殊改造的「浸漬處理(Impregnation)」活性碳。材料科學家會根據敵人的不同性質,在活性碳上添加不同的化學藥劑:

  • 酸鹼中和:對付氮氧化物、二氧化硫等酸性氣體,會在活性碳上添加碳酸鉀、氫氧化鉀等鹼性藥劑,透過酸鹼中和反應將有害氣體轉化為固體鹽類。反之,如果添加了磷酸、檸檬酸等酸性藥劑,就能中和空氣中的氨氣等鹼類。
  • 物理吸附與凡德瓦力:對於最麻煩的有機揮發物(VOCs,如甲醛、甲苯),因為它們不具酸鹼性,科學家會精密調控活性碳的孔徑大小,利用龐大的「比表面積」與分子間的吸引力(凡德瓦力),像海綿吸水般將特定的有機分子牢牢鎖在孔隙中。
活性碳如何從物理攔截跨越到分子吸附? / 圖片來源:Amway

空氣濾淨的終極邏輯:物理與化學防線的雙重合圍

在晶圓廠這種對空氣品質斤斤計較的極端環境,活性碳的運用並非「亂槍打鳥」,而是一場極其精密的對戰策略。

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工程師會根據不同製程區域的空氣分析報告,像玩 RPG 遊戲時根據怪物屬性更換裝備一樣——「打火屬性怪要穿防火裝,打冰屬性則換上防寒裝」。在最關鍵的黃光微影區(Photolithography),晶圓最怕的是人體呼出的氨氣,此時便會配置經過酸性藥劑處理的活性碳進行精準中和;而在蝕刻區(Etching),若偵測到酸性廢氣,則會改用鹼性配方的濾網。這種「對症下藥」的客製化邏輯,是確保晶片良率的唯一準則。

而在你的家中,雖然我們無法像晶圓廠那樣天天進行空氣成分分析,但你的肺部同樣需要這種等級的保護。安麗逸新空氣清淨機 SKY 的設計邏輯,正是將這種工業級的精密防護帶入家庭。它不僅擁有前述的高規 HEPA 濾網,更搭載了獲得美國專利的活性碳氣味濾網。

關於活性碳,科學界有個關鍵指標:「比表面積(Specific Surface Area)」。活性碳的孔隙越多、表面積越大,其吸附能力就越強。逸新氣味濾網選用高品質椰殼製成的活性碳,並經過高溫與蒸氣的特殊活化處理,打造出多孔且極致高密度的結構。

這片濾網內的活性碳配重達 1,020 克,但其展開後的總吸附表面積竟然高達 1,260,000 平方公尺——這是一個令人難以想像的數字,相當於 10.5 個台北大巨蛋 的面積。這種超高的比表面積,是市面上常見濾網的百倍之多。更重要的是,它還添加了雙重觸媒技術,能特別針對甲醛、戴奧辛、臭氧以及各種細微的異味分子進行捕捉。這道專利塗層防線,能將你從裝潢家具散發的有機揮發氣體,或是路邊繁忙車流的廢氣中拯救出來,成為全家人的專屬空氣守護者。

總結來說,無論是造價百億的半導體無塵室,還是守護家人的空氣清淨機,其背後的科學邏輯如出一轍:「物理濾網攔截微粒,化學濾網捕捉氣體」。只有當這兩道防線同時運作,空氣才稱得上是真正的「乾淨」。

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平凡結構藏智慧,毛髮打結的微觀探索
顯微觀點_96
・2025/09/28 ・2403字 ・閱讀時間約 5 分鐘

本文轉載自顯微觀點

「毛髮打結」的影像看似平凡無奇,卻不僅呈現自然界隱微的結構,還蘊藏著對生命深刻的敬意。憑藉著這幅作品,格爾德.岡特(Gerd Günther)更從全球顯微攝影大賽(2024 Global Image of the Year,IOTY)中脫穎而出,榮獲材料科學優勝獎。

圖/顯微觀點

令人驚嘆的是,獲獎者岡特的本業並非科學家或攝影師,而是一位農場主人,顯微攝影只是他「業餘」的愛好。

岡特於1958年出生於德國杜塞道夫;中學畢業後,於哥廷根大學學習農業科學,並從1986年後一直在杜塞道夫以自耕農為業。

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好奇的種子在顯微鏡下發芽

1970 年代,岡特中學期間,受到學校老師啟發開始接觸顯微攝影,讓他對這陌生又熟悉的結構產生濃厚興趣。當時岡特使用黑白底片,留下顯微攝影最初的記憶。直到 2000 年左右,數位時代來臨、數位相機系統問世,顯微攝影門檻下降,他才開始專注於顯微攝影的創作。

「……仔細觀察自然界中常見的事物,可以發現意想不到的特質,令人心生敬畏……我的目標是將普通的課本知識提升到知識認知和理解的層面,使欣賞成為一種享受。 」-《一粒沙中:探索大自然的設計》,安德烈亞斯‧費寧格(A. Feininger,1986

這句費寧格的話醒目地呈現在岡特架設的顯微攝影作品網站中,宛如一盞明指引創作方向的明燈,點明岡特攝影的核心理念。也透露出他的攝影品大多出自於對自然的敬畏以及日常平凡細節的好奇心,讓科學變得富有美感與哲理。

「你只需走出家門,就能進入微觀世界」,岡特認為顯微攝影最吸引人之處在於,不需長途跋涉,就能不斷發現新的結構、形狀、生命形態和色彩。而驅動他持續探索微觀世界的動力,是對大自然無盡的好奇,以及對迷人卻隱而不現寶藏的嚮往。

因此,從植物的葉脈到昆蟲的鱗片、從肥皂泡泡到礦物晶體,都是他顯微鏡捕捉的影像。為了呈現更完美的影像,他也會在閒暇時,利用各種DIY小工具改良拍攝流程,讓作品兼具科學性與美感。

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連結萬物平等的生命之結

2024全球顯微攝影大賽的獲獎作品《馬鬃與人髮之結》則是岡特探索微觀世界精神的最佳表現。

格爾德.岡特(Gerd Günther)。圖片/IOTY官網

這幅作品將馬鬃與人髮精心打結後(縱向人髮、橫向馬鬃),以明視野方式進行拍攝。透過150倍放大的視野,觀者得以清晰地看見兩種毛髮的粗細差異,但無論是人髮還是馬鬃,其外層覆蓋著如同魚鱗般的角蛋白鱗片,結構幾乎別無二致。

評審團盛讚這副影像是「視覺上極具感染力的證明:生命的共通性遠比差異更顯著。」

「我每天都與馬打交道,我對人髮和馬鬃在強度和外觀上的差異很感興趣」,岡特提到要創造出這幅看似簡單的作品,過程其實非常困難:要將兩根細小的毛髮打結並固定在顯微鏡下,需要極高的耐心與精細技巧。他嘗試了無數次,才終於拍到滿意的影像。

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對岡特而言,這件不僅包含紀實元素也蘊含情感的作品,除了象徵人類與動物之間的友誼外,人髮與馬鬃在結構上的相似性,也提醒我們所有哺乳動物,乃至所有生物之間的聯繫,遠比我們想像的緊密許多。也因此,應該對地球上所有生物都給予同等的尊重。 岡特的生活依舊以農耕為主,但科學觀察以及對顯微世界藝術性的獨到見解,讓他經營的那片農場,不再只是農務勞作的場所,而是他日復一日汲取靈感的起點,也透過顯微鏡折射出他對自然的無盡好奇。

參考資料

延伸閱讀

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顯微觀點_96
52 篇文章 ・ 13 位粉絲
從細微的事物出發,關注微觀世界的一切,對肉眼所不能見的事物充滿好奇,發掘蘊藏在微觀影像之下的故事。

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數位攝影搖身一變黑科技,CIS 成長無止盡,遇上異常該如何 DEBUG?
宜特科技_96
・2023/06/05 ・4126字 ・閱讀時間約 8 分鐘

一個女子用手機在進行自拍
圖/宜特科技

從小時候的底片相機,發展到數位相機,如今手機就能拍出許多高清又漂亮的照片,你知道都是多虧了 CIS 晶片嗎?

本文轉載自宜特小學堂〈CIS晶片遇到異常 求助無門怎麼辦〉,如果您對半導體產業新知有興趣,歡迎按下右邊的追蹤,就不會錯過宜特科技的最新文章!

CIS 晶片又稱 CMOS 影像感測器(CMOS Image Sensor),最早是在 1963 年由美國一家半導體公司發明出來的積體電路設計,隨著時代進步,廣泛應用在數位攝影的感光元件中。而人們對攝影鏡頭解析度需求不斷增加,渴望拍出更精美的畫質。

CIS 已從早期數十萬像素,一路朝億級像素邁進,有賴於摩爾定律(Moore’s Law)在半導體微縮製程地演進,使得訊號處理能力顯著提升。如今的 CIS 已經不僅適用於消費型電子產品,在醫療檢測、安防監控領域等應用廣泛,近幾年智慧電車興起,先進駕駛輔助系統(ADAS, Advanced Driver. Assistance Systems)已成為新車的安全標配,未來車用 CIS 的市場更是潛力無窮。

然而,越精密、越高階的 CIS 晶片由於結構比較薄,加上特殊的 3D 堆疊結構,使得研發難度大大提升,當遇到異常(Defect)現象時,想透過分析找出故障的真因也更為困難了。

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本文將帶大家認識三大晶片架構,並以案例說明當 CIS 晶片遇到異常,到底我們可以利用那些工具或手法,成功 DEBUG?

一、認識 CIS 三大晶片架構

現今 CIS 晶片架構,可概分為三大類,(一)前照式(Front Side illumination,簡稱FSI);(二)背照式 (Back Side illumination,簡稱 BSI);(三)堆疊式 CIS(Stacked CIS)

(一)前照式(FSI)CIS

為使 CIS 晶片能符合半導體製程導入量產,最初期的 CIS 晶片為前照式 (Front Side illumination,簡稱 FSI) CIS;其感光路徑係透過晶片表面進行收光,不過,前照式 CIS 在效能上的最大致命傷為感光路徑會因晶片的感光元件上方金屬層干擾,而造成光感應敏度衰減。

(二)背照式(BSI)CIS

為使 CIS 晶片能有較佳的光感應敏度,背照式(Back Side illumination ,簡稱 BSI)CIS 技術應運而生。此類型產品的感光路徑,係由薄化至數微米後晶片背面進行收光,藉此大幅提升光感應能力。

而 BSI CIS 的前段製程與 FSI CIS 類似,主要差別在於後段晶片對接與薄化製程。BSI CIS 的製程是在如同 FSI CIS 一般製程後,會將該 CIS 晶片正面與 Carrier wafer 對接。對接後的晶片再針對 CIS 晶片背面進行 Backside grinding 製程至數微米厚度以再增進收光效率,即完成 BSI CIS。

(三)堆疊式(Stacked)CIS

隨著智慧型手機等消費電子應用的蓬勃發展,人們對於拍攝影像的影像處理功能需求也大幅增加,使製作成本更親民與晶片效能更能有效提升,利用晶圓級堆疊技術,將較成熟製程製作的光感測元件(Sensor Chip)晶片,與由先進製程製作、能提供更強大計算能力的特殊應用 IC(Application Specific Integrated Circuit,簡稱 ASIC)晶片、或是再進一步與記憶體(DRAM)晶片進行晶圓級堆疊後,便可製作出兼具高效能與成本效益的堆疊式 CIS(Stacked CIS)晶片(圖一),也是目前最主流的晶片結構。

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堆疊式(Stacked) CIS晶片示意圖
《圖一》堆疊式(Stacked)CIS 晶片示意圖。圖/宜特科技

二、如何找堆疊式(Stacked)CIS 晶片的異常點(Defect)呢?

介紹完三大類 CIS 架構,我們就來進入本文重點:「如何找到堆疊式(Stacked)CIS 晶片的異常點(Defect)?」

由於這類型的 CIS 晶片結構相對複雜,在進行破壞性分析前,需透過電路專家電路分析或熱點(Hot Spot)故障分析,鎖定目標、縮小範圍在 Stacked CIS 晶片中的其一晶片後,針對可疑的失效點/失效層,進行該 CIS 樣品破壞性分析,方可有效地呈現失效點的失效狀態以進行進一步的預防修正措施。

接著,我們將分享宜特故障分析實驗室,是如何(一)利用電性熱點定位;(二)移除非鎖定目標之晶粒(Die),並針對鎖定目標晶粒(Die)逐層分析;(三)電性量測分析;(四)超音波顯微鏡(SAT)分析等四大分析手法交互應用,進行 Stacked CIS 晶片進行故障分析,順利找到異常點(Defect)。

(一)透過電性熱點定位找故障點(Hot Spot)

當CIS晶片具有高阻值(High Resistance)、短路(Short)、漏電(Leakage)或是功能失效(Function Failure)等電性失效時,可依據不同的電性失效模式,經由直流通電或上測試板通電,並透過選擇適合的電性故障分析(EFA, Electrical Failure Analysis)工具來進行電性定位分析。

設備OBIRCHThermal EMMIInGaAs
偵測目標電晶體/金屬層金屬層/封裝/印刷電路板電晶體/金屬層
失效模式漏電/短路/高阻值漏電/短路/高阻值漏電/短路/開路
各設備適合使用的選擇時機

包括雷射光束電阻異常偵測(Optical Beam Induced Resistance Change,簡稱 OBIRCH)熱輻射異常偵測顯微鏡(Thermal EMMI)(圖二)、砷化鎵銦微光顯微鏡(InGaAs),藉由故障點定位設備找出可能的異常熱點(Hot Spot)位置,以利後續的物性故障(PFA, Physical Failure Analysis)分析。

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透過Thermal EMMI找到電性失效的故障點位置
《圖二》透過 Thermal EMMI 找到電性失效的故障點位置。圖/宜特科技

(二)移除非鎖定目標之晶粒,並針對鎖定目標晶粒逐層分析

接著,依照上述電性分析縮小可能的異常範圍至光感測元件晶片、ASIC 或記憶體晶片區後,根據 Stacked CIS 晶片堆疊的結構特性,需先將其一側的矽基材移除,方可進行逐層去除(Layer by layer),或層層檢查。

再者,透過特殊分析手法,移除不需保留的晶粒結構,進而露出目標晶粒之最上層金屬層(圖三)。接著,透過逐層去除(Layer by layer),最終在金屬層第一層(Metal 1)找到燒毀現象的異常點(defect) (圖四)。

搭配特殊手法,將CIS待測樣品不需保留之晶粒部分,完整移除
《圖三》搭配特殊手法,將 CIS 待測樣品不需保留之晶粒部分,完整移除。圖/宜特科技
對照Hot Spot分析範圍,進行鎖定目標晶粒進行逐層去除,發現燒毀現象
《圖四》對照Hot Spot分析範圍,進行鎖定目標晶粒進行逐層去除,發現燒毀現象。圖/宜特科技

(三)電性量測分析:導電性原子力顯微鏡(C-AFM, Conductive Atomic Force Microscopy)與奈米探針系統(Nano-prober)的應用

當逐層去除(Layer by Layer)過程當中,除利用電子顯微鏡(SEM) 於故障點區域進行 VC(Voltage Contrast)的電性確認與金屬導線型態觀察外,亦可搭配導電原子力顯微鏡(Conductive Atomic Force Microscopy,簡稱C-AFM)快速掃描該異常區域,以獲得該區域電流分布圖(Current map)(圖五),並量測該接點對矽基板(Si Substrate)的電性表現,進而確認該區域是否有漏電 / 開路等電性異常問題。

C-AFM異常分析結果圖
《圖五 (左)》C-AFM 異常分析結果圖。圖五 (左): 外加正電壓 (+1V) 時的 Current map 異常電性發生;
《圖五 (右)》外加負電壓 (-1V) 時的 Current map 異常電性發生 (黃圈處)。圖/宜特科技

在完成C-AFM分析後,若有相關疑似異常路徑需要進一步進行電性量測與定位,可使用奈米探針電性量測(Nano-Prober)進行更精準的異常點定位分析,包括電子束感應電流(EBIC , Electron Beam Induced Current)、電子束吸收電流(EBAC, Electron Beam Absorbed Current)、與電子束感應阻抗偵測(EBIRCH , Electron Beam Induced Resistance Change)等定位法。而Nano-Prober亦可針對電晶體進行電性量測,如Vt、 IdVg、IdVd等基本參數獲取(圖六)。

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當透過上述分析手法精準找到異常點後,亦可再透過雙束聚焦離子束(Dual-beam FIB,簡稱DB-FIB)或是穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron Microscopy,簡稱TEM)來對異常點進行結構確認,以釐清失效原因(圖七)。

EBIC分析結果圖
《圖六》EBIC分析結果圖。圖/宜特科技
TEM分析結果圖
《圖七》TEM分析結果圖。圖/宜特科技

(四)超音波顯微鏡(Scanning Acoustic Tomography,簡稱SAT)分析:於背照式(BSI)/堆疊式(Stacked)CIS晶圓對接製程的應用

超音波顯微鏡(SAT)

超音波顯微鏡(SAT)為藉由超音波於不同密度材料反射速率及回傳能量不同的特性來進行分析,當超音波遇到不同材料的接合介面時,訊號會部分反射及部分穿透,但當超音波遇到空氣(空隙)介面時,訊號則會 100% 反射,機台就會接收這些訊號組成影像。
超音波顯微鏡(SAT)原理圖
超音波顯微鏡(SAT)原理圖。圖/宜特科技

在背照式(BSI)與堆疊式(Stacked)CIS 製程中晶圓與晶圓對接(bonding)製程中,SAT 可作為偵測晶圓與晶圓之間接合不良造成存在空隙的重要利器(圖八)。

圖八: 透過超音波顯微鏡(SAT),找到晶圓與晶圓對接(bonding)之鍵合空隙位置
《圖八》透過超音波顯微鏡(SAT),找到晶圓與晶圓對接(bonding)之鍵合空隙位置。圖/宜特科技

半導體堆疊技術的蓬勃發展,加上人們對影像感測器在消費性電子、車用電子、安控系統等應用,功能需求大幅度增加,CIS 未來將繼續進化,無論是晶圓級對接的製程穩定度分析,或是堆疊式(Stacked)CIS 故障分析,都可以透過宜特實驗室豐富的分析手法,與一站式整合服務精準地分析、加速產品開發、改善產品品質。

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宜特科技_96
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