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到底怎樣才算是「乾淨」？這不是什麼靈魂拷問，而是一個價值上億的商業命題。

在半導體產業的無塵室中，「乾淨」的定義極其殘酷：一粒肉眼看不見的灰塵，就足以讓造價數百萬美元的晶圓直接報廢。空氣品質的好壞，甚至能成為台積電（TSMC）決定是否在當地設廠的關鍵性指標。回到你的家中，雖然不需要生產精密晶片，但我們呼吸系統中的肺泡同樣精密，卻長期暴露在充滿 PM2.5、病毒以及各種揮發性氣體的環境中。為了守護健康，你可能還要付費購買「乾淨的空氣」來用。

因此，空氣議題早已超越單純的環保範疇，成為同時影響國家經濟與個人健康的重要問題。

很多人可能沒想到，無論是家用的空氣清淨機，還是造價動輒百億的頂尖晶圓廠，它們對抗污染的核心武器並非什麼複雜的雷射防護罩，而是同一件看起來平凡無奇的東西：一片外觀像紙一樣的 HEPA 濾網。但你真的相信，就憑這層厚度不到幾公分的板子，能擋住那些足以毀滅精密晶片、滲透人體細胞的「奈米級刺客」嗎？

這片大家都聽過的 HEPA 濾網，裡面到底是什麼？

首先，我們必須打破一個直覺上的誤解：HEPA 濾網（High Efficiency Particulate Air filter）在本質上其實並不是一張「網」。

細懸浮微粒 PM2.5，是指粒徑在 2.5 微米以下的污染物，它們能穿過呼吸道直達肺泡，並穿過血管引發全身性發炎。但這只是基本，在工廠與汽車尾氣中，還存在粒徑僅有 1 微米的 PM1，甚至是小於 0.1 微米的「超細懸浮微粒」（UFP，即 PM0.1）。 UFP 不僅能輕易進入血液，甚至能繞過血腦屏障（BBB），進入大腦與胎盤，其破壞力十分可怕。

如果 HEPA 濾網像水槽濾網或麵粉篩一樣，單靠孔目大小來「過濾」粒子，那麼為了攔截奈米微粒，濾網的孔目只能無限縮小到幾乎不透氣的程度。更別說在台積電或 Intel 的製程工程師眼裡，一般人認為的「乾淨」，在工程師眼裡簡直像沙塵暴一樣。對於線寬僅有 2 奈米或 3 奈米（相當於頭髮直徑萬分之一）的晶片而言，空氣中一顆微小的塵埃，就是一顆足以毀滅世界的隕石。

因此，傳統的過濾思維並非治本之道，我們需要的是原理截然不同的過濾方案。這套技術的雛形，最早可追溯至二戰時期的「曼哈頓計畫」。

HEPA 的前身，誕生於曼哈頓計畫！

1940 年代，製造濃縮鈾是發展原子彈的關鍵。然而，若將排氣直接排向大氣，會導致致命的放射性微粒擴散。負責解決這問題的是 1932 年諾貝爾化學獎得主歐文·朗繆爾（Irving Langmuir），他是薄膜和表面吸附現象的專家。他開發了「絕對過濾器」（Absolute Filter），其內部並非有孔的篩網，而是石綿纖維。

有趣的來了，如果把過濾器放到顯微鏡下，你會發現纖維之間的空隙，其實比某些被攔截的粒子還要大。那為什麼粒子穿不過去呢？這是因為在奈米尺度下，物理規則與宏觀世界完全不同。極微小的粒子在空氣中飛行時，並非走直線，而是會受到空氣分子撞擊，而產生「布朗運動」（Brownian Motion），像個醉漢一樣東倒西歪。

當粒子通過由緻密纖維構成的混亂迷宮時，布朗運動會迫使它們不斷轉彎、移動，最終撞擊到帶有靜電的纖維上。這時，靜電的吸附力會讓纖維就像蜘蛛網般死死黏住微粒。那些狂亂移動的奈米刺客，就這樣被永久禁錮迷宮中。

現在最常見的 HEPA 材料，是硼矽酸鹽玻璃纖維。

現代 HEPA 濾網最常見的核心材料為硼矽酸鹽玻璃纖維。這些玻璃纖維的直徑通常介於 0.5 至 2 微米之間，它們在濾網內隨機交織，像是一座茂密「黑森林」。微粒進入這片森林後，並非僅僅面對一層薄紙，而是得穿越一個具有厚度且排列混亂的纖維層，微粒極有可能在布朗運動的影響下撞擊並黏附在某根玻璃絲上。

除此之外，HEPA 濾網在外觀上還有一個極具辨識度的特徵，那就是像手風琴般的摺紙結構。濾材會被反覆摺疊、摺成手風琴的形狀，中間則用鋁箔或特殊的防潮紙進行結構支撐，目的是增加表面積。這不僅為了捕獲更多微粒，而是要「降低過濾風速」。這聽起來可能有點反直覺：過濾不是越快越好嗎？

其實，這與物理學中的流速控制有關。想像一條水管，如果你捏住出口，水流會變得湍急；若將出口放開並擴大，雖然總出水量不變，但出水處的流速會變得緩慢。對於 HEPA 濾網而言，當表面積越大，單位面積所需承載的空氣量就越少，空氣穿透濾網的速度也就越低。

低流速代表微粒停留在濾網內的時間也更久，增加被捕捉的機會。此外，越大的表面積也為 HEPA 濾網帶來了高「容塵量」，延長了使用壽命，這正是它能夠稱霸空氣清淨領域多年的主因。

然而，即便都叫做 HEPA 高效率空氣微粒子過濾網 (High Efficiency Particulate Air filter)，但每個 HEPA 的成分與結構還是會不一樣。例如 安麗逸新空氣清淨機 SKY ，其標榜「可過濾粒徑最小至 0.0024 微米」的污染物，去除率高達 99.99%。

0.0024 微米是什麼概念？塵蟎、花粉、皮屑或黴菌孢子，大小約在 2 至 200 微米；細懸浮微粒  PM2.5 大小約 2.5 微米，細菌也大概這麼大。最小的其實是粒徑小於 0.1 微米的「超細懸浮微粒」，大多數的病毒（如流感、新冠病毒）都落在此區間。對安麗逸新 的HEPA濾網來說，基本上通通都是可被攔截的榜上名單。

在過敏防護上，它更獲得英國過敏協會（Allergy UK）認證，能有效處理 19 大類、102 種過敏原，濾除空氣中超過 300 種氣態與固態污染物。

然而，同樣的過濾邏輯一旦進入半導體無塵室，就必須換一條更為嚴苛的技術路線。因為硼矽酸鹽玻璃纖維對晶圓來說有個致命傷，就是「硼 (Boron)」。

在半導體製程中，硼是常見的 P 型摻雜物，用來精準改變矽晶圓的電性。如果濾網有任何微小的破損、老化或化學侵蝕，進而釋放出極微量的硼離子，就可能直接污染晶圓，改變其導電特性，導致晶片報廢。

此外，無塵室要求的是比 HEPA 更極致的 ULPA（超低穿透率空氣濾網） 等級的潔淨度。ULPA 的標準通常要求對 0.12 微米 的粒子達到 99.999% 甚至 99.9999% 的超高攔截率。在奈米級的競爭中，任何多穿透的一顆微塵，都代表著一筆不小的經濟損失。

為了解決「硼」的問題並追求極限的過濾效率，材料學家搬出了塑膠界的王者，PTFE 也鐵氟龍。鐵氟龍不僅耐酸鹼、耐腐蝕，還能透過拉伸製成直徑僅 0.05 至 0.1 微米 的極細纖維，其細度遠勝玻璃纖維。雖然 PTFE 耐化學腐蝕，但它既昂貴且物理上也很脆弱，安裝時若不小心稍微觸碰，數萬元的濾網就可能報銷。因此，你只會在晶圓廠而非一般家庭環境看到它。

即便如此，在空氣濾淨系統中，還有一樣是無塵室和你家空氣清淨器上面都有的另一張濾網，就是活性碳濾網。

活性碳如何從物理攔截跨越到分子吸附？

好不容易將微塵擋在門外時，危機卻還沒有解除。因為空氣中還隱藏著另一類更難纏的大魔王：AMC（氣態分子污染物）。

HEPA 或 ULPA 這類物理濾網雖然能攔截固體微粒，但面對氣態分子時，就像是用網球拍想撈起水一樣徒勞。這些氣態分子如同「幽靈」一般，能輕易穿過物理濾網的縫隙，其中包括氮氧化物、二氧化硫，以及來自人體的氨氣與各種揮發性有機物（VOCs）。

為了對付這些幽靈，我們必須在物理防線之外，加裝一道「化學濾網」。

這道防線的核心就是我們熟知的活性碳。但這與烤肉用的木炭不同，這裡使用的是經過特殊改造的「浸漬處理（Impregnation）」活性碳。材料科學家會根據敵人的不同性質，在活性碳上添加不同的化學藥劑：

• 酸鹼中和：對付氮氧化物、二氧化硫等酸性氣體，會在活性碳上添加碳酸鉀、氫氧化鉀等鹼性藥劑，透過酸鹼中和反應將有害氣體轉化為固體鹽類。反之，如果添加了磷酸、檸檬酸等酸性藥劑，就能中和空氣中的氨氣等鹼類。
• 物理吸附與凡德瓦力：對於最麻煩的有機揮發物（VOCs，如甲醛、甲苯），因為它們不具酸鹼性，科學家會精密調控活性碳的孔徑大小，利用龐大的「比表面積」與分子間的吸引力（凡德瓦力），像海綿吸水般將特定的有機分子牢牢鎖在孔隙中。

空氣濾淨的終極邏輯：物理與化學防線的雙重合圍

在晶圓廠這種對空氣品質斤斤計較的極端環境，活性碳的運用並非「亂槍打鳥」，而是一場極其精密的對戰策略。

工程師會根據不同製程區域的空氣分析報告，像玩 RPG 遊戲時根據怪物屬性更換裝備一樣——「打火屬性怪要穿防火裝，打冰屬性則換上防寒裝」。在最關鍵的黃光微影區（Photolithography），晶圓最怕的是人體呼出的氨氣，此時便會配置經過酸性藥劑處理的活性碳進行精準中和；而在蝕刻區（Etching），若偵測到酸性廢氣，則會改用鹼性配方的濾網。這種「對症下藥」的客製化邏輯，是確保晶片良率的唯一準則。

而在你的家中，雖然我們無法像晶圓廠那樣天天進行空氣成分分析，但你的肺部同樣需要這種等級的保護。安麗逸新空氣清淨機 SKY 的設計邏輯，正是將這種工業級的精密防護帶入家庭。它不僅擁有前述的高規 HEPA 濾網，更搭載了獲得美國專利的活性碳氣味濾網。

關於活性碳，科學界有個關鍵指標：「比表面積（Specific Surface Area）」。活性碳的孔隙越多、表面積越大，其吸附能力就越強。逸新氣味濾網選用高品質椰殼製成的活性碳，並經過高溫與蒸氣的特殊活化處理，打造出多孔且極致高密度的結構。

這片濾網內的活性碳配重達 1,020 克，但其展開後的總吸附表面積竟然高達 1,260,000 平方公尺——這是一個令人難以想像的數字，相當於 10.5 個台北大巨蛋 的面積。這種超高的比表面積，是市面上常見濾網的百倍之多。更重要的是，它還添加了雙重觸媒技術，能特別針對甲醛、戴奧辛、臭氧以及各種細微的異味分子進行捕捉。這道專利塗層防線，能將你從裝潢家具散發的有機揮發氣體，或是路邊繁忙車流的廢氣中拯救出來，成為全家人的專屬空氣守護者。

總結來說，無論是造價百億的半導體無塵室，還是守護家人的空氣清淨機，其背後的科學邏輯如出一轍：「物理濾網攔截微粒，化學濾網捕捉氣體」。只有當這兩道防線同時運作，空氣才稱得上是真正的「乾淨」。

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本文轉載自顯微觀點

七月颱風丹娜絲來襲加上近一個月的豪雨，重創南台灣也帶來類鼻疽疫情；根據衛福部疾管署統計，截至七月底國內累計35例類鼻疽本土病例，其中2例死亡。

類鼻疽的病原菌是類鼻疽伯克氏菌（Burkholderia pseudomallei），在土壤、水池及積水環境中存在。主要傳染途徑是皮膚傷口接觸到受病原菌污染的土壤或水引起，也可能經由吸入、吃到受污染的土壤或水，或吸入受污染的塵土而受感染，人傳人的情況很少發生。

「類」鼻疽又被稱為「偽」鼻疽，這是因為它與由鼻疽伯克氏菌（Burkholderia mallei）引起的鼻疽（glanders）在臨床症狀上相似，都可能導致肺炎、皮膚潰瘍與全身性感染。事實上，類鼻疽在首次被觀察到時，確實一度被誤認為鼻疽；直到經過一連串的培養實驗、動物試驗與顯微鏡觀察，研究者才確認它其實是全新的病原菌。

意外發現的偽裝者

故事要回到 1911 年的英屬緬甸仰光。當時的皇家總醫院（RGH）仍是木造建築，病房昏暗潮濕、護理人手短缺。英國病理學家阿弗雷德‧惠特莫爾（Alfred Whitmore）被派駐於此，負責法醫檢驗與末期病患的照護。

在這個資源匱乏的環境，惠特莫爾卻堅持醫院必須有實驗室，因為「診所與實驗室的密切合作，才是高品質醫學的基石」，顯微鏡也成了他探尋病因的武器。

某天，惠特莫爾與助手克里希納斯瓦米（C.S. Krishnaswami）在一次尋常屍檢的病理解剖時，發現一位 40 歲緬甸男子的肺部出現奇特的乾酪狀病變。這位病患因發燒7天入院，住院3天後死亡；顯微鏡下的病灶抹片則意外發現了形似鼻疽伯克氏的桿狀菌。但這位男子沒有馬匹的接觸史，且剛從監獄被放出來，研判感染鼻疽的可能性極低。

經過進一步培養、觀察，惠特莫爾發現這些細菌雖然形似鼻疽桿菌，卻具有運動性、能在普通培養基上快速生長；這些表現都與鼻疽桿菌不同。1912 年，他們在《印度醫學公報》發表38例病例的系統描述，並將此病命名為「類鼻疽」（melioidosis）。

成為「定時炸彈」再入公眾視野的致病菌

第一次世界大戰後，惠特莫爾被調至英屬印度，克里希納斯瓦米也離開原崗位，類鼻疽逐漸被視為仰光特定人群（例如嗎啡成癮者）的地方性疾病，未引起國際公衛重視，往後的數十年間鮮少再被深入研究。直到20 世紀中期，類鼻疽才因越戰再度受到關注。

因類鼻疽伯克氏菌廣泛存在於東南亞的土壤與淡水中，當直升機將部隊運送到各個角落作戰時，揚起的泥土、士兵涉水行軍時的皮膚破損，都可能成為感染途徑。

部分士兵在感染後長期無症狀，病菌可潛伏多年，待免疫力下降時才引發重症。這種延遲發作特性，使得類鼻疽又被稱為「越南定時炸彈」（Vietnamese Time Bomb）。

雖然類鼻疽主要在東南亞和澳洲北部盛行，但類鼻疽感染在世界各地均有發生。2021年，美國更曾經發生在香薰噴霧中發現類鼻疽伯克氏菌，並導致了跨洲的感染，顯示類鼻疽不再是熱帶限定的健康威脅。

而與類鼻疽相似的鼻疽桿菌，曾在美國內戰、第一次和第二次世界大戰被用作生物戰武器，加上類鼻疽難以快速診斷，且若不使用特效抗生素快速治療，患者可能會死亡，也有可能被應用為生物武器。因此美國疾病管制與預防中心 (CDC) 以及其他聯邦、州政府正針對類鼻疽的診斷、藥品整備製定計劃，以應對此類攻擊。

而在台灣，類鼻疽則多因颱風的強風暴雨，使污水及土壤中的類鼻疽桿菌暴露地面，造成傳播與吸入性感染，尤其風災後一個月內確診個案可能增加。因此清理家園時需特別注意避免接觸汙泥、汙水，出現發燒、胸痛、咳嗽等症狀應儘速就醫，即早診斷與治療。

參考資料：

• Whitmore, A. and Krishnaswami, C.S. (1912) An Account of the Discovery of a Hitherto Undescribed Infective Disease Occurring among the Population of Rangoon. Indian Medical Gazette, 47, 262-267.
• Brightman, C. and Locum, (2020), Melioidosis: the Vietnamese time bomb. Trends Urology & Men Health, 11: 30-32. https://doi.org/10.1002/tre.753
• Diseases: Viet Nam’s Time Bomb（TIME）
• CDC Lab Testing Confirms Cause of Melioidosis Outbreak
• Melioidosis and Bioterrorism

延伸閱讀：

古老技術？ 登革熱研究仍靠顯微鏡

ASML 向來以與全世界做生意為榮。南韓客戶來訪時，接待處的荷蘭國旗旁邊就會擺上南韓國旗。中國企業來訪，則會看到中國國旗飄揚。這反映了 ASML 對所有客戶一視同仁。只可惜，如今世界的運作已不再那麼單純了。

在數以百億計的政府補助資金挹注下，中國的晶片廠如雨後春筍般崛起。2017 年，中國客戶下單的曝光機總值高達七億歐元。幾個月後，中國晶片製造商中芯國際的執行董事梁孟松在上海簽下了他們的第一台EUV曝光機訂單。

監事會立即指出風險，直言：「各位，這恐怕會出問題，美國不會放行所有的交易。」但 ASML 的管理高層毫不在意這些顧慮。他們認為 ASML 不涉政治，而且多年來一直都有供貨給中芯國際。

結果，ASML 向荷蘭申請對中國的出口許可時，美國立即展開外交行動，試圖阻止 EUV 曝光機進入中國。川普的國安顧問莫里森表示，這不是美國在對友邦施壓：「我們都知道 EUV 技術有多重要，荷蘭政府可以自行決定這件事。」當然，最好是做出美國也認同的決定。

從 ASML 看中美貿易戰

荷蘭人陷入這樣的困境，其實一點也不意外。美國不想和中國真的開戰，因此試圖用其他一切手段來控制中國的科技發展。晶片有如現代經濟的石油，當你順著這條價值鏈追溯時，很快就會來到荷蘭的 ASML。

在 ASML 看來，制定規則的人並不了解「這一切」是如何運作的。「這一切」是指整個晶片產業，包括所有的全球依存關係、脆弱的供應鏈和複雜的技術。這是一個靠相互信任、長期協議、自由市場機制運轉的世界。政府不能破壞這個脆弱的生態系統：最主要是因為 ASML 從中賺取豐厚的利潤（包括在中國的收益），也在荷蘭創造了許多就業機會。

ASML 認為，美國主要是靠封鎖 EUV 技術來輔助對中國的經濟戰。這項技術可用來大量生產先進半導體。這些晶片是用在手機上，不是戰鬥機。對 ASML 來說，擔心 EUV 技術被用於軍事完全是無稽之談，武器產業使用的是已經上市多年的成熟微影技術。而且武器中使用的多數晶片都是「現成」的，跟筆記型電腦、洗衣機或汽車裡的晶片一樣，在世界各地都能輕易買到。

美國對「軍事」的定義

但美國的看法不同。美國對「軍事」的定義遠超出傳統武器的範疇。他們擔心中國的 AI 崛起、中國的超級電腦在全球排名中占主導地位，以及中國當局未來可能掌握的強大網路武器。而這些全都有一個共同需求：先進晶片。

荷蘭經濟部向來對企業採取不干預的態度，讓企業能充分利用世界貿易的優勢。身為一個新自由主義的貿易國，荷蘭乘著全球化的浪潮前進了三十幾年。ASML 就體現了這種重商精神。

ASML 長期以來一直試圖避開地緣政治的舞台。但當你的機器是用來印製現代世界的基礎架構時，你不可能永遠躲在鎂光燈外。

2020 年 1 月，外交角力終於公開化。路透社報導，美國已要求荷蘭封鎖 EUV 技術的出口，ASML 頓時成為眾所矚目的焦點。川普的貿易戰、間諜案件，以及有關華為和 5G 的爭議，全都交織在一起，掀起了一場輿論風暴，ASML 登上了各大媒體的頭版。

本文摘自《造光者：晶片戰爭中最神秘的關鍵企業，微影巨人ASML制霸未來科技賽局的崛起之路》，2025 年 09 月，天下雜誌出版，未經同意請勿轉載。