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【極光片語】吊帶褲上的原子力顯微鏡

雷漢欣
・2015/02/17 ・5845字 ・閱讀時間約 12 分鐘 ・SR值 515 ・六年級

http://www.youtube.com/watch?v=zW4x0grQT2U

在上一集的【極光片語】中,博學多聞的IBM研究團隊以跨領域知識化解危機,順利地推出了磁碟機這項史上第一個商業化的隨機存取裝置,間接讓全球經濟逆風高飛,當時科學家們為了提高碟片的空間儲存密度,無不想盡辦法縮小磁軌,好在一張碟片上塞入更多資訊,當科學家終於把磁軌縮小到奈米等級後,卻面臨了新的難題:磁軌太細了,沒有儀器能夠測量這麼微小面積的磁力分佈,要怎麼繼續做研究呀?「你們的聲音,我都聽到了!」專門研究探針掃瞄的IBM科學家Jonathon (John) Mamin說,「快來試試我這台用原子力顯微鏡改裝成的磁力顯微鏡吧。」

磁力顯微鏡(magnetic force microscope, MFM)能夠偵測微小面積上的微弱磁力,是原子力顯微鏡(atomic force microscope, AFM)的變形,說到原子力顯微鏡,就不能不提到它的前身——掃描式穿隧電子顯微鏡(scanning tunneling microscope, STM),這項讓人「大開眼界」看到原子表面的發明,不僅開創了奈米科技紀元,也讓 Gerd Binnig Heinrich Rohrer 兩位IBM科學家獲頒1986年的諾貝爾物理學獎。常理來說,如此高科技的STM應該誕生於頂級的精密實驗室,沒想到STM的搖籃,竟是Rohrer博士褲頭上的吊帶。

發明掃描穿隧顯微鏡(STM)的科學家Gerd Binnig(左)與 Heinrich Rohrer。圖片來源:IBM
發明掃描穿隧顯微鏡(STM)的科學家Gerd Binnig(左)與 Heinrich Rohrer。圖片來源:IBM

奈米科技的迷人之處在於微觀世界中的有別於宏觀世界的量子和表面性質。物質進入奈米尺度後,表面積佔體積的比例大大提升,一顆直徑20奈米的小金球只有6%的金原子分佈在表面,而直徑1奈米的小金球中99%的原子都暴露在表面,由於所有物質間的反應都發生接觸面,所以物質表面性質的研究是很重要的,而奈米物質的高表面積特性正提供了科學家研究原子的凡得瓦力、氫鍵、電荷等表面效應的大好機會,因此科學家極度渴望能夠觀測原子表面的超高倍率顯微鏡。

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在1980年代,光學顯微鏡可以將數百奈米的視野放大到肉眼可見的大小,電子顯微鏡能觀測到數十奈米的微小物體,但都沒有實際方法能夠測出原子的樣貌,直到Binnig 和Rohrer發明了掃描式穿隧電子顯微鏡(STM),科學家才能探索這個小小世界的奇妙之處。STM的原理——量子穿隧效應——在1890年代就被法國物理學家貝克勒(Henri Becquerel)所提出,他也因此與居禮夫婦共同獲得1903年的諾貝爾物理學獎。根據量子穿隧效應,當一根極尖的金屬探針與樣品(需為金屬)距離僅僅數埃(Å,10-10公尺)時,樣品表面的電子會被探針尖端吸引,並且有機會衝進探針,形成大約100皮安培(皮,10-12)的穿隧電流,電流的大小在這個特定範圍內會隨著距離的負指數次方而改變。所以,理論上只要讓一隻細針在金屬樣品上穩定的水平移動,就能藉由穿隧電流的變化得知表面的高低起伏。

但是,but,人生中最重要的就是這個but。理論是美好的,而現實是殘酷的,90年來都沒有人將穿隧電流做成顯微鏡一定是有原因的。科學家從理論走進現實後所面臨最大的魔王,是環境中難以抗拒的低頻振動。由於穿隧效應的性質,儀器只能在相當於5~10個原子的距離範圍內測到電流訊號,而自然界中無所不在的振動會輕易地將探針振動到有效距離之外,若無法避免振動擾亂訊號,穿隧電流顯微鏡的想法就無法實現。

「消除振動?可以用光學桌呀。」你心裡可能這麼想。頂級的光學桌有堅硬沈重的花崗石桌面和有彈簧性質的氣浮桌腳,可以過濾掉高於氣浮桌腳共振頻率的波,例如由人們走路、搬東西、關門等動作對地面造成的振動;但是除了這些人造的振動,建築物本身也會產生低頻振動,這卻不在光學桌的振動過濾範圍內。

每一棟建築都有不一樣的自然振動頻率,樓層高的頻率低,樓層低的頻率高,依照建築、結構又有所不同,但大抵都在0.1到幾個赫茲(Hertz, Hz)左右的範圍。人類耳朵可以聽到頻率在20~20000赫茲的聲波,大象、藍鯨等可以用低於20赫茲的次聲波溝通;波的頻率越低可以傳得越遠,大象0.5赫茲的叫聲能夠傳到20公里遠,同樣的,建築物結構的低頻振動也能遠播不易消失。建築的振動受到自然環境影響,高聳的建築受到風吹的力較大,許多高樓都有避震系統減輕風吹導致的搖晃,像是台北101大樓在92層樓下方懸吊的超大型金光閃閃阻尼球,就是全球最大的阻尼器,不僅可以吸引觀光客前往參觀,也可以吸收40%由風吹造成的晃動,避免觀景台上的情侶因暈船而搞砸浪漫約會。

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台北101的球形阻尼器可以吸收風吹的能量,減少40%的搖晃。照片來源:維基共享資源

為了排除這些光學桌無法吸收的樓房振動,STM的發明家如果遵循傳統的設計理念,思考出來的解決之道或許是找個地下室、礦坑之類的平穩場域來進行實驗。可是身處瑞士的Rohrer與Binnig,要上哪兒找礦坑做實驗呢?同時,當時STM的計畫純粹是他們倆的業餘興趣,沒有研究經費補助支持,他們也無法蓋一間豪華地底實驗室,這下他們該如何是好?

正當兩人思索這個問題時,空氣間隱隱傳出一道謎之聲:「If you cannot fight it, join it!」穿著吊帶褲的Rohrer博士低頭細細咀嚼這句話的玄外之意,眼神正好落在身上那條曾伴隨自己度過無數研究夜晚的吊帶,他頓時豁然開朗:「無所不在的地面振動源根本無法完全隔離;既然連光學桌都不能讓它固定不動,不如就讓整台儀器一起動唄!我身上這吊帶可看作是彈簧⋯⋯其實不就和光學桌的氣浮桌腳有異曲同工之妙嗎?」

Rohrer與Binnig立馬重新設計STM,將探針放置在一個緊密堅實的剛體(rigid body)結構內,再用吊帶將包含探針在內的STM剛體結構懸在天花板下方,就像像用Q彈的橡皮筋吊著一顆堅硬的石頭,吊帶跟光學桌一樣可以過濾掉從環境傳入STM剛體結構的高頻振動,雖然吊帶會讓整台STM在空中晃動,但只要適當地設計新版本剛體結構STM中探針的共振頻率,就可以避免傳入的振動源影響針頭與樣品間的距離!

自穿隧電流被發現以來的90年,為解決振動問題,科學家不斷尋找更穩定的環境卻都枉然,Rohrer與Binnig用靈活的思路、基礎的知識,以概念翻轉的懸吊式光學桌,拉大儀器與環境的振動頻率差,成功催生世界上第一台STM,進而推動奈米研究的大躍進。「他們確實活用了基礎知識,所以我們開玩笑說這是第一次以力學成果得到的諾貝爾獎。」李老師說。

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STM
結構緊密如剛體的STM
Rohrer與Binnig設計出用吊帶掛著剛體結構的STM,就像用橡皮筋著一顆石頭,橡皮筋 可以隔離外來的振動源,雖然橡皮筋會讓石頭上下晃動,但不會造成石頭內部的振動。攝影/陳聖尉
Rohrer與Binnig設計出用吊帶掛著剛體結構的STM,就像用橡皮筋著一顆石頭,橡皮筋可以隔離外來的振動源,雖然橡皮筋會讓石頭上下晃動,但不會造成石頭內部的振動。攝影/陳聖尉

高靈敏度與大測量範圍如何兼得?

打敗了振動大魔王,科學家還得想辦法打破「精準度與測量範圍如魚與熊掌不可兼得」的鐵律。這種「有一好,沒兩好」的原則適用於所有人造測量儀器,例如智慧型手機裡的加速規,能夠測量人們行走時的加速度變化,但測量範圍一般只在1~2倍的重力加速度(我們稱之為1~2G);而飛機上的加速規可以測量如美軍A10地面攻擊機轉彎時產生高達十幾G這種足以令人昏厥的強大加速度,此種等級的儀器雖然測量範圍廣,卻無法取得很高的加速度解析度。

以穿隧電流為原理的STM非常靈敏,可以測出幾顆原子等級的距離變化,卻只能測量樣品表面5~10埃的高低起伏。由於穿隧電流的強度與距離的指數次方呈負相關,只要探針與樣品之間的距離稍微縮短一個原子長度,穿隧電流就會瘋狂增加。但是穿隧電流只在兩物體相距5~10埃時發生,只要樣品表面稍微粗糙一點,就會導致水平移動的掃描探針撞牆或遠離樣品而失去訊號,因此測量範圍非常侷限。

「這種問題的解決方法都是一樣的。」李老師說。在STM的案例中,若固定探針的高度,而直接以穿隧電流的強度高低推算樣品與探針間的距離來描繪樣品表面地圖,測量範圍當然會受限於5~10埃的表面起伏;若探針能隨著樣品表面高度移動並維持固定距離,即使樣品表面有10埃以上的起伏也不怕了,但是探針與樣品間的距離如此微小,光是測量就不容易了,要怎麼維持他們的距離呢?

STM的針尖與樣品必須距離5~10埃才能作用。圖片來源:維基百科
STM的針尖與樣品必須距離5~10埃才能作用。圖片來源:維基百科

聰明的科學家巧妙地將STM的靈敏特性轉換成擴大測量範圍的工具:敏感的穿隧電流可以讓固定探針與樣品間距離的回授機制更加精準。由於穿隧電流對距離的反應非常靈敏,當穿隧電流增加時,就代表樣品正在逐漸靠近探針,這時儀器會立即通電到探針懸臂上的壓電材料,壓電材料通電後會改變長度,懸壁稍微縮短後就可以保持探針與樣品間的距離,最後讓儀器本身記錄驅動壓電材料的電壓,再換算出探針移動的距離,即可繪出樣品表面的樣子,如此一來,STM可測量的距離範圍就能遠遠大於穿隧電流所限制的5~10埃啦。「利用敏感的電流變化控制探針高度,就像是擁有一雙靈敏的雙眼,眼睛看得清楚後,雙手就能控制得精準。」李老師補充說明。

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科學家藉由偵測穿隧電流強度來控制探針高度的方法,與外科醫師執行顯微手術大同小異。人們的頭髮直徑大概是80~125微米,拔下一根頭髮放在眼前細細端詳,光是將眼睛焦距調整在髮絲上就會讓人變鬥雞眼,而面對僅僅數微米粗的神經纖維,外科醫師竟能直接用雙手進行縫合!其實醫師執行顯微手術的法寶是那架在眼前的顯微鏡,當視覺的解析度增加,手眼協調的準確度就會放大。「從加速規等感應子的設計到微創手術用的顯微鏡,都是以靈敏的感應子(Sensor)來提高反應的精準度,這些道理是一通百通的!」李老師說。

醫師進行顯微手術。照片來源:維基百科。
醫師進行顯微手術。照片來源:維基百科

Just do it! 不試怎麼知道行不行得通?

1981年,IBM蘇黎世研究院的Rohrer博士以及他所提攜的Binnig博士共同發明了掃描式穿隧電子顯微鏡STM,成功測量出金屬表面奈米等級樣貌,因而在1986年獲得諾貝爾物理學獎,這年,Binnig博士進駐了IBM位於美國加州的阿爾馬登研究中心(Almaden Research Center),並且與史丹佛大學的Calvin Quate教授、IBM蘇黎世研究實驗室科學家Christoph Gerber三人共同發明了第一台原子力顯微鏡(AFM),這是一項衍伸自STM的發明,適用的樣品種類也擴增到STM無法測量的非金屬物質。

穿隧電流是STM測得出金屬表面奈米構造的原理,「有什麼性質是非導體也適用的呢?」Binnig博士心想,「對了,那萬物間無所不在的凡得瓦力!」原子間存在著凡得瓦力、氫鍵、共價鍵等微小的作用力,當物體越小,這些原子間作用力的影響會相對放大,當兩個物體逐漸靠近,凡得瓦力會讓彼此互相吸引,但當兩者相距最小距離時,凡得瓦力又讓彼此互相排斥。因此探針與樣品在特定距離時會產生快速的上下振動,只要測量探針的移動,就能得出樣品的表面特性。

為了讓探針受到微小的原子間作用力後可以自由振動,探針的懸臂必須相當柔軟,第一代的探針懸臂(cantilever beam)使用了鋁箔紙作為材料,鋁箔紙不僅夠軟,而且還是金屬!為什麼要特別強調鋁箔是金屬?只有當懸臂是金屬,第一代AFM探針的振動才可以用STM來測量。

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這時AFM的研究速度已如海浪般難以抵擋,利用STM測量鋁箔紙探針懸臂起伏的第一代AFM很快就被後浪推倒在沙灘上,因為用這種方法測量懸臂振動還是太複雜了,取而代之的是光學槓桿法。只要打一束雷射光在探針懸臂上,讓雷射光的反射角度隨著懸臂的移動而改變,再用四象限光學感測器測量雷射光反射的偏移,就可以換算出懸臂的高度變化。當初光學槓桿的想法曾受到很大的質疑,因為理論上干擾因素太多了,然而實際上在AFM的微小空間中卻是可行的,現在的AFM也都採用光學槓桿測量。「我們常常設想太多而做太少,還以為什麼都不可行,而真正嘗試後才發現其實行得通。『just do it!』在很多時候都是成功的機會。」李老師說。

AFM藉由光學槓桿放大折射光因探針位置改變產生的位移,來推算樣品表面。攝影/張凱智。

「當技術的基礎平台被開發後,衍伸的應用會發展神速。」李老師接著說。自AFM在1989年上市後,各式各樣由AFM衍伸出的儀器如雨後春筍般蹦出,沿用AFM的架構,只要改變探針材料就能用來測量不同的物質和作用力——金屬探針藉由穿隧電流測量金屬表面;利用凡得瓦力的吸力或斥力的原子力顯微鏡(AFM)可以測量一般的元件;帶靜電的探針可以測量原子等級的帶電量,這個方法也就構成了靜電力顯微鏡(electrostatic force microscope, EFM);將AFM的探針改成鈷製探針可以建構出磁力顯微鏡(magnetic force microscope, MFM)來測量磁場分布……。

在那個磁碟機產業與技術均蓬勃發展的年代,當IBM的John Mamin博士首次於國際會議上發表新發明的磁力顯微鏡(MFM),台下聽眾無不低頭猛抄筆記,會後紛紛出去打電話,以當時最快速的方式傳遞這重大消息。不到一週的光景,全世界的公司都知道如何生產MFM,同時也有許多公司推出MFM儀器來販售,由於當時磁碟機是個八百億美金的市場,龐大的產業需求直接加速了MFM的普及。

科技,始終起於人性

Rohrer博士在諾貝爾獎感言中提到了在IBM的日子:「在IBM蘇黎世研究實驗室的那些年裡,我特別感謝那自由的研究氛圍,讓我能盡情投入在讓我著迷不已的領域。」自由的研究環境和同儕間的砥礪讓 Binnig 與 Rohrer 兩人有靈活的思維和既深又廣的基礎知識,能跳脫框架,做出上個世紀數一數二的重要發明。

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STM和其衍伸出的AFM、MFM、EFM等各式奈米級顯微鏡,誕生於發明者的求知慾,不僅讓探索微觀世界和研究尖端科技的科學家道具升級,也餵飽他們好奇的腦袋;有別於這些讓人熱血沸騰的發明,日本的科學家用科技所滿足的,是人性中渴望陪伴的需求。柴田崇德博士(Takanori Shibata)在2003年開發了超萌療癒系機器小海豹「Paro」,它有毛絨絨的可愛外表,可以與人進行簡單的互動,雖然它不會每日向人道聲「喔嗨呦~」,也不會幫忙做家事,Paro卻有神奇的魔力,讓養老院的爺爺奶奶心頭暖暖並重展笑顏。究竟,機器人撫癒人心的公式是如何推導?與它們建立的情感又能否計算?我們下回見。:)

【極光片語】專欄收錄李世光老師的訪談,每一段小故事、小物件的背後,都有饒富趣味的科學道理。吉光片羽比喻殘存的珍貴文物,象徵李世光老師在科學研發的高昂志氣和人生智慧;傳說見到極光會帶給人一輩子的好運,期待讀者在本專欄得到的啟發,都能像看見極光般感動。

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雷漢欣
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PanSci的菜菜實習編輯,來自溫馨的動科系,心情好的時候喜歡說「你知道嗎!?」小故事,即使常得到「誰不知道阿.......」的冷眼回應,也不改其志。

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從奈米微塵到化學氣體, HEPA 與活性碳如何聯手打造純淨空氣?
鳥苷三磷酸 (PanSci Promo)_96
・2026/04/17 ・4433字 ・閱讀時間約 9 分鐘

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本文由 Amway 委託,泛科學企劃執行。

很多人可能沒想到,無論是家用的空氣清淨機,還是造價動輒百億的頂尖晶圓廠,它們對抗污染的核心武器並非什麼複雜的雷射防護罩,而是一片外觀像紙一樣的 HEPA 濾網
在半導體產業的無塵室中,「乾淨」的定義極其殘酷:一粒肉眼看不見的灰塵,就足以讓造價數百萬美元的晶圓直接報廢 / 圖片來源:envato

到底怎樣才算是「乾淨」?這不是什麼靈魂拷問,而是一個價值上億的商業命題。

在半導體產業的無塵室中,「乾淨」的定義極其殘酷:一粒肉眼看不見的灰塵,就足以讓造價數百萬美元的晶圓直接報廢。空氣品質的好壞,甚至能成為台積電(TSMC)決定是否在當地設廠的關鍵性指標。回到你的家中,雖然不需要生產精密晶片,但我們呼吸系統中的肺泡同樣精密,卻長期暴露在充滿 PM2.5、病毒以及各種揮發性氣體的環境中。為了守護健康,你可能還要付費購買「乾淨的空氣」來用。

因此,空氣議題早已超越單純的環保範疇,成為同時影響國家經濟與個人健康的重要問題。

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很多人可能沒想到,無論是家用的空氣清淨機,還是造價動輒百億的頂尖晶圓廠,它們對抗污染的核心武器並非什麼複雜的雷射防護罩,而是同一件看起來平凡無奇的東西:一片外觀像紙一樣的 HEPA 濾網。但你真的相信,就憑這層厚度不到幾公分的板子,能擋住那些足以毀滅精密晶片、滲透人體細胞的「奈米級刺客」嗎?

這片大家都聽過的 HEPA 濾網,裡面到底是什麼?

首先,我們必須打破一個直覺上的誤解:HEPA 濾網(High Efficiency Particulate Air filter)在本質上其實並不是一張「網」。

細懸浮微粒 PM2.5,是指粒徑在 2.5 微米以下的污染物,它們能穿過呼吸道直達肺泡,並穿過血管引發全身性發炎。但這只是基本,在工廠與汽車尾氣中,還存在粒徑僅有 1 微米的 PM1,甚至是小於 0.1 微米的「超細懸浮微粒」(UFP,即 PM0.1)。 UFP 不僅能輕易進入血液,甚至能繞過血腦屏障(BBB),進入大腦與胎盤,其破壞力十分可怕。

如果 HEPA 濾網像水槽濾網或麵粉篩一樣,單靠孔目大小來「過濾」粒子,那麼為了攔截奈米微粒,濾網的孔目只能無限縮小到幾乎不透氣的程度。更別說在台積電或 Intel 的製程工程師眼裡,一般人認為的「乾淨」,在工程師眼裡簡直像沙塵暴一樣。對於線寬僅有 2 奈米3 奈米(相當於頭髮直徑萬分之一)的晶片而言,空氣中一顆微小的塵埃,就是一顆足以毀滅世界的隕石。

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因此,傳統的過濾思維並非治本之道,我們需要的是原理截然不同的過濾方案。這套技術的雛形,最早可追溯至二戰時期的「曼哈頓計畫」。

HEPA 的前身,誕生於曼哈頓計畫!

1940 年代,製造濃縮鈾是發展原子彈的關鍵。然而,若將排氣直接排向大氣,會導致致命的放射性微粒擴散。負責解決這問題的是 1932 年諾貝爾化學獎得主歐文·朗繆爾(Irving Langmuir),他是薄膜和表面吸附現象的專家。他開發了「絕對過濾器」(Absolute Filter),其內部並非有孔的篩網,而是石綿纖維。

有趣的來了,如果把過濾器放到顯微鏡下,你會發現纖維之間的空隙,其實比某些被攔截的粒子還要大。那為什麼粒子穿不過去呢?這是因為在奈米尺度下,物理規則與宏觀世界完全不同。極微小的粒子在空氣中飛行時,並非走直線,而是會受到空氣分子撞擊,而產生「布朗運動」(Brownian Motion),像個醉漢一樣東倒西歪。

當粒子通過由緻密纖維構成的混亂迷宮時,布朗運動會迫使它們不斷轉彎、移動,最終撞擊到帶有靜電的纖維上。這時,靜電的吸附力會讓纖維就像蜘蛛網般死死黏住微粒。那些狂亂移動的奈米刺客,就這樣被永久禁錮迷宮中。

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現在最常見的 HEPA 材料,是硼矽酸鹽玻璃纖維。

現代 HEPA 濾網最常見的核心材料為硼矽酸鹽玻璃纖維。這些玻璃纖維的直徑通常介於 0.5 至 2 微米之間,它們在濾網內隨機交織,像是一座茂密「黑森林」。微粒進入這片森林後,並非僅僅面對一層薄紙,而是得穿越一個具有厚度且排列混亂的纖維層,微粒極有可能在布朗運動的影響下撞擊並黏附在某根玻璃絲上。

除此之外,HEPA 濾網在外觀上還有一個極具辨識度的特徵,那就是像手風琴般的摺紙結構。濾材會被反覆摺疊、摺成手風琴的形狀,中間則用鋁箔或特殊的防潮紙進行結構支撐,目的是增加表面積。這不僅為了捕獲更多微粒,而是要「降低過濾風速」。這聽起來可能有點反直覺:過濾不是越快越好嗎?

其實,這與物理學中的流速控制有關。想像一條水管,如果你捏住出口,水流會變得湍急;若將出口放開並擴大,雖然總出水量不變,但出水處的流速會變得緩慢。對於 HEPA 濾網而言,當表面積越大,單位面積所需承載的空氣量就越少,空氣穿透濾網的速度也就越低。

低流速代表微粒停留在濾網內的時間也更久,增加被捕捉的機會。此外,越大的表面積也為 HEPA 濾網帶來了高「容塵量」,延長了使用壽命,這正是它能夠稱霸空氣清淨領域多年的主因。

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然而,即便都叫做 HEPA 高效率空氣微粒子過濾網 (High Efficiency Particulate Air filter),但每個 HEPA 的成分與結構還是會不一樣。例如 安麗逸新空氣清淨機 SKY ,其標榜「可過濾粒徑最小至 0.0024 微米」的污染物,去除率高達 99.99%。

0.0024 微米是什麼概念?塵蟎、花粉、皮屑或黴菌孢子,大小約在 2 至 200 微米;細懸浮微粒  PM2.5 大小約 2.5 微米,細菌也大概這麼大。最小的其實是粒徑小於 0.1 微米的「超細懸浮微粒」,大多數的病毒(如流感、新冠病毒)都落在此區間。對安麗逸新 的HEPA濾網來說,基本上通通都是可被攔截的榜上名單。

在過敏防護上,它更獲得英國過敏協會(Allergy UK)認證,能有效處理 19 大類、102 種過敏原,濾除空氣中超過 300 種氣態與固態污染物。

同樣的過濾邏輯一旦進入半導體無塵室,就必須換一條更為嚴苛的技術路線。因為硼矽酸鹽玻璃纖維對晶圓來說有個致命傷,就是「硼 (Boron)」 / 圖片授權:Shutterstock

然而,同樣的過濾邏輯一旦進入半導體無塵室,就必須換一條更為嚴苛的技術路線。因為硼矽酸鹽玻璃纖維對晶圓來說有個致命傷,就是「硼 (Boron)」。

在半導體製程中,硼是常見的 P 型摻雜物,用來精準改變矽晶圓的電性。如果濾網有任何微小的破損、老化或化學侵蝕,進而釋放出極微量的硼離子,就可能直接污染晶圓,改變其導電特性,導致晶片報廢。

此外,無塵室要求的是比 HEPA 更極致的 ULPA(超低穿透率空氣濾網) 等級的潔淨度。ULPA 的標準通常要求對 0.12 微米 的粒子達到 99.999% 甚至 99.9999% 的超高攔截率。在奈米級的競爭中,任何多穿透的一顆微塵,都代表著一筆不小的經濟損失。

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為了解決「硼」的問題並追求極限的過濾效率,材料學家搬出了塑膠界的王者,PTFE 也鐵氟龍。鐵氟龍不僅耐酸鹼、耐腐蝕,還能透過拉伸製成直徑僅 0.05 至 0.1 微米 的極細纖維,其細度遠勝玻璃纖維。雖然 PTFE 耐化學腐蝕,但它既昂貴且物理上也很脆弱,安裝時若不小心稍微觸碰,數萬元的濾網就可能報銷。因此,你只會在晶圓廠而非一般家庭環境看到它。

即便如此,在空氣濾淨系統中,還有一樣是無塵室和你家空氣清淨器上面都有的另一張濾網,就是活性碳濾網。

活性碳如何從物理攔截跨越到分子吸附?

好不容易將微塵擋在門外時,危機卻還沒有解除。因為空氣中還隱藏著另一類更難纏的大魔王:AMC(氣態分子污染物)

HEPA 或 ULPA 這類物理濾網雖然能攔截固體微粒,但面對氣態分子時,就像是用網球拍想撈起水一樣徒勞。這些氣態分子如同「幽靈」一般,能輕易穿過物理濾網的縫隙,其中包括氮氧化物、二氧化硫,以及來自人體的氨氣與各種揮發性有機物(VOCs)。

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為了對付這些幽靈,我們必須在物理防線之外,加裝一道「化學濾網」。

這道防線的核心就是我們熟知的活性碳。但這與烤肉用的木炭不同,這裡使用的是經過特殊改造的「浸漬處理(Impregnation)」活性碳。材料科學家會根據敵人的不同性質,在活性碳上添加不同的化學藥劑:

  • 酸鹼中和:對付氮氧化物、二氧化硫等酸性氣體,會在活性碳上添加碳酸鉀、氫氧化鉀等鹼性藥劑,透過酸鹼中和反應將有害氣體轉化為固體鹽類。反之,如果添加了磷酸、檸檬酸等酸性藥劑,就能中和空氣中的氨氣等鹼類。
  • 物理吸附與凡德瓦力:對於最麻煩的有機揮發物(VOCs,如甲醛、甲苯),因為它們不具酸鹼性,科學家會精密調控活性碳的孔徑大小,利用龐大的「比表面積」與分子間的吸引力(凡德瓦力),像海綿吸水般將特定的有機分子牢牢鎖在孔隙中。
活性碳如何從物理攔截跨越到分子吸附? / 圖片來源:Amway

空氣濾淨的終極邏輯:物理與化學防線的雙重合圍

在晶圓廠這種對空氣品質斤斤計較的極端環境,活性碳的運用並非「亂槍打鳥」,而是一場極其精密的對戰策略。

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工程師會根據不同製程區域的空氣分析報告,像玩 RPG 遊戲時根據怪物屬性更換裝備一樣——「打火屬性怪要穿防火裝,打冰屬性則換上防寒裝」。在最關鍵的黃光微影區(Photolithography),晶圓最怕的是人體呼出的氨氣,此時便會配置經過酸性藥劑處理的活性碳進行精準中和;而在蝕刻區(Etching),若偵測到酸性廢氣,則會改用鹼性配方的濾網。這種「對症下藥」的客製化邏輯,是確保晶片良率的唯一準則。

而在你的家中,雖然我們無法像晶圓廠那樣天天進行空氣成分分析,但你的肺部同樣需要這種等級的保護。安麗逸新空氣清淨機 SKY 的設計邏輯,正是將這種工業級的精密防護帶入家庭。它不僅擁有前述的高規 HEPA 濾網,更搭載了獲得美國專利的活性碳氣味濾網。

關於活性碳,科學界有個關鍵指標:「比表面積(Specific Surface Area)」。活性碳的孔隙越多、表面積越大,其吸附能力就越強。逸新氣味濾網選用高品質椰殼製成的活性碳,並經過高溫與蒸氣的特殊活化處理,打造出多孔且極致高密度的結構。

這片濾網內的活性碳配重達 1,020 克,但其展開後的總吸附表面積竟然高達 1,260,000 平方公尺——這是一個令人難以想像的數字,相當於 10.5 個台北大巨蛋 的面積。這種超高的比表面積,是市面上常見濾網的百倍之多。更重要的是,它還添加了雙重觸媒技術,能特別針對甲醛、戴奧辛、臭氧以及各種細微的異味分子進行捕捉。這道專利塗層防線,能將你從裝潢家具散發的有機揮發氣體,或是路邊繁忙車流的廢氣中拯救出來,成為全家人的專屬空氣守護者。

總結來說,無論是造價百億的半導體無塵室,還是守護家人的空氣清淨機,其背後的科學邏輯如出一轍:「物理濾網攔截微粒,化學濾網捕捉氣體」。只有當這兩道防線同時運作,空氣才稱得上是真正的「乾淨」。

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從「看不見」到「看見病毒入侵」——顯微技術如何一步步解密流感?
顯微觀點_96
・2026/03/10 ・3406字 ・閱讀時間約 7 分鐘

顯微技術與流感解密

2025年初知名藝人大S因流感過世,震驚社會;隨著冬季氣溫下降,流感疫情又將蠢蠢欲動。所幸得益於顯微技術的進步,科學家們在百年前「看見」流感病毒,現在進而拆解流感病毒進入細胞的動態過程,希望能進一步研發更有效的抗病毒療法。

流感是感染人類流感病毒所引發的急性病毒性呼吸道疾病,常引起發燒、咳嗽、頭痛、肌肉痠痛、疲倦、流鼻水、喉嚨痛等,多數國家每年均會發生週期性流行。

看不見的敵人,橫掃全球

除了週期性的地區流行,流感也曾出現大規模疫情,造成世界性大流行。其中1918年流感大流行(又稱西班牙流感)最為嚴重,導致全球數千萬人死亡。

1918年正值第一次世界大戰,美軍在主要入境港口之一,法國的布列斯特(Brest)首次出現流感疫情;4月中旬,波爾多軍醫院也出現了疫情。這些疫情持續時間短暫且無害,死亡人數很少,士兵們很快就從所謂的「三日熱」(the three-day fever)中恢復。

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之後,法國和英國部隊也陸續出現流感病例,位於法國聖納澤爾(Saint-Nazaire)的年輕士兵成群感染。1918年5月疫情擴散至索姆河前線(Somme)和洛林地區(Lorraine),前線每天報告新增1500至2000名病例。巴黎於6月受到影響,疫情持續蔓延至英國、德國、義大利,西班牙也未能倖免。

但當時第一次世界大戰的主要參戰國家,如德、英、法、美等國為了避免影響士氣,嚴格管制媒體報導疫情。然而保持中立而未參戰的西班牙,因為沒有實施戰時審查制度,西班牙媒體自由報導著流感相關新聞,甚至連西班牙國王阿方索十三世(King Alfonso XIII)感染重症的消息也被廣泛報導,造成西班牙疫情特別嚴重的錯覺,也因此被命名為「西班牙流感」。

1918年5月28日《太陽報》的頭條新聞報導西班牙流感新聞。
1918年5月28日《太陽報》的頭條新聞,內容為:馬德里三日熱病肆虐,八萬人罹病,國王陛下病重。圖片來源:Wiki

經由戰爭和海運,疫情擴散至全球,西班牙流感出現三波疫情高峰。第一波發生於1918年春季;到了1918年秋季,出現第二波疫情,是死亡率最高的一波;第三波則發生於1919年冬季至1920年春季,死亡率介於第一波和第二波之間。1918到1920年,估計西班牙流感造成全球約5000萬人死亡。

雖然流感造成的死亡人數更甚於一戰死亡人數,但人們還不清楚流行性感冒是由什麼病原體造成。許多科學家開始積極投入假定病原體的研究,大量患者體內存在流感嗜血桿菌(Haemophilus influenzae,前稱費弗氏桿菌Pfeiffer’s bacillus),但也有些病患體內無法分離出病菌,無法滿足柯霍式法則的條件。不過當時流感嗜血桿菌仍被認定是流感的病原體。

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羅伯特·柯霍(Robert Koch)

柯霍氏法則(Koch’s postulates):

  1. 病體罹病部位經常可以找到大量的病原體,而在健康活體中找不到這些病原體。
  2. 病原體可被分離並在培養基中進行培養,並記錄各項特徵。
  3. 純粹培養的病原體應該接種至與病株相同品種的健康植株,並產生與病株相同的病徵。
  4. 從接種的病株上以相同的分離方法應能再分離出病原體,且其特徵與由原病株分離者應完全相同。

直到1933年,英國科學家史密斯(Wilson Smith)、安德魯(Christopher Andrewes)和萊德勞(Patrick Laidlaw)在倫敦國家醫學研究所(NIMR)分離並鑑定出人類A型流感病毒。他們在流感患者身上收集鼻涕和喉嚨漱口液,過濾後滴入雪貂體內。之後雪貂開始打噴嚏並出現類似流感的症狀,並且傳染給同一籠的雪貂。他們證明了這種感染是可重複的,顯示該病原具感染性,而不是偶然。

1936年,一名年輕的倫敦國家醫學研究所研究員意外接觸到已感染流感病毒的雪貂的噴嚏分泌物。兩天後,他也出現流感症狀,並在喉嚨分離出病毒,血清出現特定抗體。這次意外完成的傳播鏈,實現了柯霍氏法則第三條。之後,B型和C型流感病毒也分別在1940年、1947年被陸續分離出來。

揭開奈米級真實樣貌

儘管此時人們已經知道流感的病原體是可過濾、體積比細菌小的病毒,但一直沒有「見到本尊」。

1931年德國科學家克諾爾(Max Knoll)與魯斯卡(Ernst Ruska)合力製作並發表了史上第一台電子顯微鏡。電子顯微鏡以電子束取代光來觀察物體,由於電子波長短於可見光,解析度提升到奈米等級,也使得病毒得以現形。

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用電子顯微鏡觀察,流感病毒呈現球形或絲狀;球形病毒的直徑約100奈米,絲狀病毒的長度則通常超過300奈米。

在電子顯微鏡下,其實很難僅靠外觀分辨A型和B型流感病毒。A型流感病毒的最外層是一層來自宿主細胞的脂質膜,就像穿上「外套」一樣。套膜外則有明顯的尖釘(spikes)構造,就像佈滿尖刺的球體。這些「尖刺」主要由兩種醣蛋白組成:血凝素(HA)和神經胺酸酶(NA),是流感病毒感染能力的關鍵,也正是H1N1、H3N2等亞型命名的由來。

病毒外殼上還零星分布M2離子通道蛋白(M2 ion channel protein),但數量非常少,平均每100至200個HA,才有一個M2。套膜下則有M1基質蛋白(matrix protein M1)支撐病毒結構,維持病毒穩定。B型流感病毒的整體結構和A型非常類似,只是膜蛋白組成略有不同,除了HA和NA之外,另有兩種B型流感獨有的NB和BM2蛋白。至於C型流感病毒,外型就和A、B型明顯不同,它們在感染細胞表面時,能形成長達數百微米的「繩索狀結構」。

然而,電子顯微鏡有其限制:樣本必須固定、脫水,只能看到「結果」,而非「過程」。雖然隨著螢光標記與活細胞顯微術的進步,研究者也開始追蹤流感病毒在細胞內的移動路徑。但螢光顯微鏡看到的是標記訊號,而非病毒的真實形貌;病毒如何與細胞膜互動、是否造成結構變形,仍多半停留在推測層次。

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(左)穿透式電子顯微鏡(TEM)下所見的流感病毒顆粒;(右)流感病毒的3D模型。
(左)穿透式電子顯微鏡(TEM)下所見的流感病毒顆粒,周圍環繞明顯的釘突;(右)流感病毒的3D模型。圖片來源:美國CDC Public Health Image Library (PHIL)

以「病毒視角」看流感病毒互動

蘇黎世聯邦理工學院分子醫學教授山內洋平(Yohei Yamauchi)帶領的研究團隊,使用改良的「病毒視角」原子力顯微鏡(virus-view atomic force microscopy),首次在活細胞表面即時觀察到單顆A型流感病毒進入細胞的過程。

原子力顯微鏡是以奈米探針,在樣本表面掃描,透過感測微小的力學變化來重建樣本形貌。研究團隊將原子力顯微鏡與共軛焦螢光顯微鏡整合,一邊確認顆粒的「身分」,一邊記錄其造成的細胞膜變形。

他們看到流感病毒在細胞表面並非立刻被吞噬,而是先停留一段時間,並在接觸處誘導細胞膜產生局部下陷。慢慢地病毒被細胞膜包覆,最終完成內吞。結果顯示病毒不是「自行闖入」,細胞也「主動」參與反應。細胞將對內吞作用重要的網格蛋白(clathrin protein)聚集到病毒所在的位置,細胞表面也會在病毒所在位置隆起,把病毒「往內拉」。如果病毒遠離細胞表面,這種波浪狀的膜運動也會增強,彷彿細胞要把病毒「抓回來」一般。

從光學顯微鏡的「看不見」,到電子顯微鏡的「看見結構」,再到原子力顯微鏡的「看見動態互動」,顯微技術的演進不只是解析度的提升,更不斷改變人們對流感病毒的理解,進一步為疾病研究和防治開啟新的可能。

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「病毒視角」顯微鏡(ViViD-AFM)示意圖及觀察病毒互動影像。
「病毒視角」顯微鏡(ViViD-AFM)示意圖及觀察病毒互動影像。圖片來源:Yohei Yamauchi團隊論文

參考資料:

  • Bouvier, N. M., & Palese, P. (2008). The biology of influenza viruses. Vaccine, 26 Suppl 4(Suppl 4), D49–D53.
  • Berche P. (2022). The Spanish flu. Presse medicale (Paris, France : 1983), 51(3), 104127.
  • Yoshida, A., Uekusa, Y., Suzuki, T., Bauer, M., Sakai, N., & Yamauchi, Y. (2025). Enhanced visualization of influenza A virus entry into living cells using virus-view atomic force microscopy. Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America, 122(38), e2500660122.
  • A year-round disease affecting everyone. WHO

延伸閱讀:

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從細微的事物出發,關注微觀世界的一切,對肉眼所不能見的事物充滿好奇,發掘蘊藏在微觀影像之下的故事。

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激盪全民對科普的想像!Open Call 成果展 5 月 26 日盛大登場
PanSci_96
・2023/05/10 ・1716字 ・閱讀時間約 3 分鐘

國科會首度向全國高中職及大專院校廣下英雄帖,舉辦「Open Call 科普 創意松」,得獎名單已揭曉,並將於今(112)年 5 月 26 日在臺北松山文創園區一號倉庫進行頒獎及展示得獎作品,當日將結合國科會科普活動計畫及科普產品製播計畫成果一同展出,讓各界能藉此機會相互激盪對科普的想像!

兼顧科普傳播與社會需求,將學生科普創意轉換為未來社會影響力

聚焦校園年輕世代所舉辦的「Open Call 科普創意松」徵件活動,分「科普創意提案」及「科普短片徵件」兩類,鼓勵高職中職及大專院校學生,透過多元科普傳播模式和影音創作發揮社會影響力。

自去(111)年 8 月底啟動徵件,有將近 90 所學校、400 多隊報名、超過 1200 人次的師生參與。在學子創意孵化的過程中,國科會也邀請業界各領域執牛耳的輔導業師,透過業師陪伴及前後世代的交流互動,優化學子的提案創意並強化其作品未來之可行性。

「科普創意提案」獲獎案例展現出青年學子對於科學教育、環境永續、生 態保育、偏鄉孩童心理輔導等議題的關注與熱情,並嘗試透過創新的科普傳播手法為在地社會議題尋求新解方。

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大專組金獎由來自臺北醫學大學及中國醫藥大學合組團隊「醫線教育」獲得,該團隊跨區域、跨校號召志同道合夥伴,針對疾病診斷邏輯,設計互動式教具與課程,幫助國內外大學生模擬情境以銜 接基礎知識在臨床的應用,獲評審們一致認同是難能可貴的社會實踐行動。

高中職組金獎,由彰化二林工商的「哇哈哈科學服務團」團隊獲獎,該團隊以在地高中職學生為出發點,率先成立科學服務社團,學習科技教育知識,再教導鄰近國中小學童,達到自助人助,進一步儲備種子志願團,由受助者變成助人者,形成良善循環機制,不僅將科學教育資源帶入偏鄉,培養在地科學人才, 且結合科學教育與地方文化,對地方經濟和社會發展有正面且積極的影響。

科普短片類大專組金獎作品為清華大學「清大天文社」之〈進擊的黑洞:類星體〉,該創作短片從熱門的科學新聞切入,呼應天文迷對於黑洞的好奇心, 片中穿插許多令人會心一笑的譬喻與橋段,風趣又不失其意涵。

高中職組金獎作品,是由虎尾高中「動感光波」團隊所創作之短片〈光通訊〉,主要講述以 發射器(燈泡)產生之光訊號,經由接收、轉換成電訊號,進而發出特定音階, 透過生動活潑的表演和拍攝手法,故事情節可愛清新,搭配簡易動畫和資訊圖卡,讓影片具知識性及趣味性。

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當日除了展示 21 個來自校園學子的獲獎科普創意,下午在舞台區會放映獲獎的 11 支科普短片及科普產品製播計畫影片,內容生動更兼具知識性與教育性,讓民眾沉浸於深入淺出的科學知識寶庫與科普視聽饗宴。

精選年度科普活動計畫作品及科普產品製播影片成果同步展出

國科會為持續推動全民科普,使科學教育不僅走入校園、更深入大眾生活,今年首度集結科普相關計畫 45 個團隊共同展出成果,國內長期推動科普、第一線面對學子的科普推手,為本次展覽設計豐富多元的科學演示,將深奧的科研成果轉化為各年齡層易懂的手作互動實驗等,包括循環材料與物件微展覽、 原住民文化數學數位教材、科普桌遊、AI 自駕車模擬行駛、植物染手作體驗、 蝴蝶科普解謎遊戲等有趣又豐富的科普體驗;此外,「數感盃中英文數學詩創作競賽」的創作成果,也將在展場中幻化為 24 公尺長的「數學詩牆」,當縝密精準的數學與柔軟詩意的文學交會,迸發出跨域創作的科普新火花!歡迎大小朋友帶著好奇心一同共襄盛舉!

活動官網

Open Call 頒獎典禮暨科普成果展」活動資訊

  • 時間:2023 年 5 月 26 日(星期五)上午 10:00 ~ 下午 5:00
  • 地點:臺北松山文創園區一號倉庫(信義區光復南路 133 號)
  • 展覽活動詳情請上活動官網:www.opencall-nstc.org.tw
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