量子照相機－量子物理開啟了影像記錄的新世代

本文由 Amway 委託，泛科學企劃執行。

到底怎樣才算是「乾淨」？這不是什麼靈魂拷問，而是一個價值上億的商業命題。

在半導體產業的無塵室中，「乾淨」的定義極其殘酷：一粒肉眼看不見的灰塵，就足以讓造價數百萬美元的晶圓直接報廢。空氣品質的好壞，甚至能成為台積電（TSMC）決定是否在當地設廠的關鍵性指標。回到你的家中，雖然不需要生產精密晶片，但我們呼吸系統中的肺泡同樣精密，卻長期暴露在充滿 PM2.5、病毒以及各種揮發性氣體的環境中。為了守護健康，你可能還要付費購買「乾淨的空氣」來用。

因此，空氣議題早已超越單純的環保範疇，成為同時影響國家經濟與個人健康的重要問題。

很多人可能沒想到，無論是家用的空氣清淨機，還是造價動輒百億的頂尖晶圓廠，它們對抗污染的核心武器並非什麼複雜的雷射防護罩，而是同一件看起來平凡無奇的東西：一片外觀像紙一樣的 HEPA 濾網。但你真的相信，就憑這層厚度不到幾公分的板子，能擋住那些足以毀滅精密晶片、滲透人體細胞的「奈米級刺客」嗎？

這片大家都聽過的 HEPA 濾網，裡面到底是什麼？

首先，我們必須打破一個直覺上的誤解：HEPA 濾網（High Efficiency Particulate Air filter）在本質上其實並不是一張「網」。

細懸浮微粒 PM2.5，是指粒徑在 2.5 微米以下的污染物，它們能穿過呼吸道直達肺泡，並穿過血管引發全身性發炎。但這只是基本，在工廠與汽車尾氣中，還存在粒徑僅有 1 微米的 PM1，甚至是小於 0.1 微米的「超細懸浮微粒」（UFP，即 PM0.1）。 UFP 不僅能輕易進入血液，甚至能繞過血腦屏障（BBB），進入大腦與胎盤，其破壞力十分可怕。

如果 HEPA 濾網像水槽濾網或麵粉篩一樣，單靠孔目大小來「過濾」粒子，那麼為了攔截奈米微粒，濾網的孔目只能無限縮小到幾乎不透氣的程度。更別說在台積電或 Intel 的製程工程師眼裡，一般人認為的「乾淨」，在工程師眼裡簡直像沙塵暴一樣。對於線寬僅有 2 奈米或 3 奈米（相當於頭髮直徑萬分之一）的晶片而言，空氣中一顆微小的塵埃，就是一顆足以毀滅世界的隕石。

因此，傳統的過濾思維並非治本之道，我們需要的是原理截然不同的過濾方案。這套技術的雛形，最早可追溯至二戰時期的「曼哈頓計畫」。

HEPA 的前身，誕生於曼哈頓計畫！

1940 年代，製造濃縮鈾是發展原子彈的關鍵。然而，若將排氣直接排向大氣，會導致致命的放射性微粒擴散。負責解決這問題的是 1932 年諾貝爾化學獎得主歐文·朗繆爾（Irving Langmuir），他是薄膜和表面吸附現象的專家。他開發了「絕對過濾器」（Absolute Filter），其內部並非有孔的篩網，而是石綿纖維。

有趣的來了，如果把過濾器放到顯微鏡下，你會發現纖維之間的空隙，其實比某些被攔截的粒子還要大。那為什麼粒子穿不過去呢？這是因為在奈米尺度下，物理規則與宏觀世界完全不同。極微小的粒子在空氣中飛行時，並非走直線，而是會受到空氣分子撞擊，而產生「布朗運動」（Brownian Motion），像個醉漢一樣東倒西歪。

當粒子通過由緻密纖維構成的混亂迷宮時，布朗運動會迫使它們不斷轉彎、移動，最終撞擊到帶有靜電的纖維上。這時，靜電的吸附力會讓纖維就像蜘蛛網般死死黏住微粒。那些狂亂移動的奈米刺客，就這樣被永久禁錮迷宮中。

現在最常見的 HEPA 材料，是硼矽酸鹽玻璃纖維。

現代 HEPA 濾網最常見的核心材料為硼矽酸鹽玻璃纖維。這些玻璃纖維的直徑通常介於 0.5 至 2 微米之間，它們在濾網內隨機交織，像是一座茂密「黑森林」。微粒進入這片森林後，並非僅僅面對一層薄紙，而是得穿越一個具有厚度且排列混亂的纖維層，微粒極有可能在布朗運動的影響下撞擊並黏附在某根玻璃絲上。

除此之外，HEPA 濾網在外觀上還有一個極具辨識度的特徵，那就是像手風琴般的摺紙結構。濾材會被反覆摺疊、摺成手風琴的形狀，中間則用鋁箔或特殊的防潮紙進行結構支撐，目的是增加表面積。這不僅為了捕獲更多微粒，而是要「降低過濾風速」。這聽起來可能有點反直覺：過濾不是越快越好嗎？

其實，這與物理學中的流速控制有關。想像一條水管，如果你捏住出口，水流會變得湍急；若將出口放開並擴大，雖然總出水量不變，但出水處的流速會變得緩慢。對於 HEPA 濾網而言，當表面積越大，單位面積所需承載的空氣量就越少，空氣穿透濾網的速度也就越低。

低流速代表微粒停留在濾網內的時間也更久，增加被捕捉的機會。此外，越大的表面積也為 HEPA 濾網帶來了高「容塵量」，延長了使用壽命，這正是它能夠稱霸空氣清淨領域多年的主因。

然而，即便都叫做 HEPA 高效率空氣微粒子過濾網 (High Efficiency Particulate Air filter)，但每個 HEPA 的成分與結構還是會不一樣。例如 安麗逸新空氣清淨機 SKY ，其標榜「可過濾粒徑最小至 0.0024 微米」的污染物，去除率高達 99.99%。

0.0024 微米是什麼概念？塵蟎、花粉、皮屑或黴菌孢子，大小約在 2 至 200 微米；細懸浮微粒  PM2.5 大小約 2.5 微米，細菌也大概這麼大。最小的其實是粒徑小於 0.1 微米的「超細懸浮微粒」，大多數的病毒（如流感、新冠病毒）都落在此區間。對安麗逸新 的HEPA濾網來說，基本上通通都是可被攔截的榜上名單。

在過敏防護上，它更獲得英國過敏協會（Allergy UK）認證，能有效處理 19 大類、102 種過敏原，濾除空氣中超過 300 種氣態與固態污染物。

然而，同樣的過濾邏輯一旦進入半導體無塵室，就必須換一條更為嚴苛的技術路線。因為硼矽酸鹽玻璃纖維對晶圓來說有個致命傷，就是「硼 (Boron)」。

在半導體製程中，硼是常見的 P 型摻雜物，用來精準改變矽晶圓的電性。如果濾網有任何微小的破損、老化或化學侵蝕，進而釋放出極微量的硼離子，就可能直接污染晶圓，改變其導電特性，導致晶片報廢。

此外，無塵室要求的是比 HEPA 更極致的 ULPA（超低穿透率空氣濾網） 等級的潔淨度。ULPA 的標準通常要求對 0.12 微米 的粒子達到 99.999% 甚至 99.9999% 的超高攔截率。在奈米級的競爭中，任何多穿透的一顆微塵，都代表著一筆不小的經濟損失。

為了解決「硼」的問題並追求極限的過濾效率，材料學家搬出了塑膠界的王者，PTFE 也鐵氟龍。鐵氟龍不僅耐酸鹼、耐腐蝕，還能透過拉伸製成直徑僅 0.05 至 0.1 微米 的極細纖維，其細度遠勝玻璃纖維。雖然 PTFE 耐化學腐蝕，但它既昂貴且物理上也很脆弱，安裝時若不小心稍微觸碰，數萬元的濾網就可能報銷。因此，你只會在晶圓廠而非一般家庭環境看到它。

即便如此，在空氣濾淨系統中，還有一樣是無塵室和你家空氣清淨器上面都有的另一張濾網，就是活性碳濾網。

活性碳如何從物理攔截跨越到分子吸附？

好不容易將微塵擋在門外時，危機卻還沒有解除。因為空氣中還隱藏著另一類更難纏的大魔王：AMC（氣態分子污染物）。

HEPA 或 ULPA 這類物理濾網雖然能攔截固體微粒，但面對氣態分子時，就像是用網球拍想撈起水一樣徒勞。這些氣態分子如同「幽靈」一般，能輕易穿過物理濾網的縫隙，其中包括氮氧化物、二氧化硫，以及來自人體的氨氣與各種揮發性有機物（VOCs）。

為了對付這些幽靈，我們必須在物理防線之外，加裝一道「化學濾網」。

這道防線的核心就是我們熟知的活性碳。但這與烤肉用的木炭不同，這裡使用的是經過特殊改造的「浸漬處理（Impregnation）」活性碳。材料科學家會根據敵人的不同性質，在活性碳上添加不同的化學藥劑：

• 酸鹼中和：對付氮氧化物、二氧化硫等酸性氣體，會在活性碳上添加碳酸鉀、氫氧化鉀等鹼性藥劑，透過酸鹼中和反應將有害氣體轉化為固體鹽類。反之，如果添加了磷酸、檸檬酸等酸性藥劑，就能中和空氣中的氨氣等鹼類。
• 物理吸附與凡德瓦力：對於最麻煩的有機揮發物（VOCs，如甲醛、甲苯），因為它們不具酸鹼性，科學家會精密調控活性碳的孔徑大小，利用龐大的「比表面積」與分子間的吸引力（凡德瓦力），像海綿吸水般將特定的有機分子牢牢鎖在孔隙中。

空氣濾淨的終極邏輯：物理與化學防線的雙重合圍

在晶圓廠這種對空氣品質斤斤計較的極端環境，活性碳的運用並非「亂槍打鳥」，而是一場極其精密的對戰策略。

工程師會根據不同製程區域的空氣分析報告，像玩 RPG 遊戲時根據怪物屬性更換裝備一樣——「打火屬性怪要穿防火裝，打冰屬性則換上防寒裝」。在最關鍵的黃光微影區（Photolithography），晶圓最怕的是人體呼出的氨氣，此時便會配置經過酸性藥劑處理的活性碳進行精準中和；而在蝕刻區（Etching），若偵測到酸性廢氣，則會改用鹼性配方的濾網。這種「對症下藥」的客製化邏輯，是確保晶片良率的唯一準則。

而在你的家中，雖然我們無法像晶圓廠那樣天天進行空氣成分分析，但你的肺部同樣需要這種等級的保護。安麗逸新空氣清淨機 SKY 的設計邏輯，正是將這種工業級的精密防護帶入家庭。它不僅擁有前述的高規 HEPA 濾網，更搭載了獲得美國專利的活性碳氣味濾網。

關於活性碳，科學界有個關鍵指標：「比表面積（Specific Surface Area）」。活性碳的孔隙越多、表面積越大，其吸附能力就越強。逸新氣味濾網選用高品質椰殼製成的活性碳，並經過高溫與蒸氣的特殊活化處理，打造出多孔且極致高密度的結構。

這片濾網內的活性碳配重達 1,020 克，但其展開後的總吸附表面積竟然高達 1,260,000 平方公尺——這是一個令人難以想像的數字，相當於 10.5 個台北大巨蛋 的面積。這種超高的比表面積，是市面上常見濾網的百倍之多。更重要的是，它還添加了雙重觸媒技術，能特別針對甲醛、戴奧辛、臭氧以及各種細微的異味分子進行捕捉。這道專利塗層防線，能將你從裝潢家具散發的有機揮發氣體，或是路邊繁忙車流的廢氣中拯救出來，成為全家人的專屬空氣守護者。

總結來說，無論是造價百億的半導體無塵室，還是守護家人的空氣清淨機，其背後的科學邏輯如出一轍：「物理濾網攔截微粒，化學濾網捕捉氣體」。只有當這兩道防線同時運作，空氣才稱得上是真正的「乾淨」。

進一步了解商品：https://shop.amway.com.tw/products/2071?navigationType=brand&

在荷蘭，一個強大的企業正在崛起。多年來，這家公司在一項看似不可能的技術上投入了大量資金，後來終於開花結果。2017 年，ASML 宣布新型的EUV機台為公司帶來逾十億歐元的營收。與此同時，ASML在傳統曝光機系統的市占率已攀升至九成。

有另一家公司正咬牙切齒地看著這一切：日本的尼康（Nikon）。1990 年代以前，這家日本科技集團一直是曝光機的市場龍頭，直到 ASML 橫空出世，一舉顛覆市場，奪下霸主的寶座。不過，當你被趕下寶座時，還有一條翻身之路：告上法庭。

2017 年 4 月，尼康第二次對 ASML 提起專利訴訟，連德國光學大廠蔡司的半導體部門也意外捲入其中。日方指控他們在荷蘭侵犯了十一項專利，同時也在德國和日本提出訴訟。一旦法院做出對尼康有利的判決，ASML 將被迫停止在維荷芬的機台生產。儘管已是市場龍頭，生產禁令的威脅仍再次讓 ASML 陷入存亡危機。不過這一次，ASML 早有準備。

ASML 對 2001 年尼康第一次提出的專利控訴記憶猶新。當年那場突如其來的訴訟，最終在 2004 年以交互授權協議落幕。交互授權協議到期前，ASML 曾多次主動接觸尼康商延展事宜，但日方始終不發一語。

相對的，ASML 對任何與日本競爭對手有關的事物都很排斥。你絕對不會看到 ASML 的資深員工使用佳能或尼康的相機。他們寧可選擇奧林巴斯（Olympus）或索尼——畢竟，日本確實生產全球最好的相機。

ASML 相機專利訴訟

這讓 ASML 當時的執行長麥瑞斯（Eric Meurice）想到一個主意，他自認是超棒的點子。2011 年，就在這位法籍執行長卸任的前兩年，他找 ASML 技術長布令克（Martin van den Brink）提出計畫：一旦日方對曝光機提出任何控訴，ASML 就用相機專利反擊，直攻尼康的痛處。麥瑞斯語重心長地警告布令克：「你遲早會遇上麻煩，必須在他們的主場給予反擊，務必要拿到那些專利。」布令克把這個警告牢記在心。他們需要收購專利，而且最好做得神不知鬼不覺。

company.info 的資料庫顯示，2011 年 10 月，一家名為 Tarsium 有限公司的公司成立。這是 ASML 為了躲避尼康律師的法眼而設立的空殼公司。2012 年至 2014 年間，Tarsium 斥資近一千萬歐元，從惠普、全錄、聯發科、美國專利聚合公司高智發明（Intellectual Ventures）等公司收購數位攝影專利。

2014 年交互授權協議到期後，ASML 聘請了智財權領域專家威廉・霍英（Willem Hoyng）。霍英組了一個二十人的律師團隊。2015 年與 2016 年，調解再度失敗，無可避免的法律戰終於爆發。新一輪專利戰就此開打，尼康於 2017 年 4 月 24 日發起首波攻勢後，ASML 馬上祭出祕密武器。4 月 28 日，Tarsium 把所有專利轉讓給 ASML 與蔡司。同一天，這兩家公司就對尼康提出訴訟。

外界得知反訴竟然是針對相機時，都大感意外，這不是有關微影技術的訴訟嗎？幾乎每週五，律師團隊都按要求來到 ASML 腦力激盪。他們認為尼康並不是真的想讓 ASML 停產：他們想要錢，而且是很多錢。但布令克並不打算讓競爭對手予取予求。

法官要求尼康與 ASML 展開協商，但尼康毫無談判意願：他們想先贏一個案件，再拿這個勝訴當籌碼逼 ASML 支付更多的錢。在荷蘭的前四個案件都判 ASML 和蔡司勝訴，但這還不是慶祝的時候，每個案子都攸關公司的存亡。如今與 ASML 已密不可分的蔡司，更是憂心忡忡。

一年半後，轉機終於出現了。2018 年 8 月，美國國際貿易委員會（ITC）裁定，尼康侵犯了 ASML 與蔡司擁有的相機專利。突然間，尼康的相機部門面臨美國的進口禁令，日方開始緊張了。

蔡司 ZX1 相機跳票內幕

身為 ITC 的申訴方，ASML 與蔡司必須證明他們確實蒙受經濟損失，這表示他們需要在美國市場上銷售一款使用到這些專利技術的相機。2018 年秋天，蔡司宣布推出 ZX1 相機。這是一款搭載定焦鏡頭和大型觸控螢幕的數位相機：全黑機身、稜角分明，內建相片編輯軟體和網路連線功能。還配上一個朗朗上口的標語：「拍攝、編修、分享，一氣呵成」。

這個消息讓業界媒體困惑不解。蔡司上次製造相機，還是底片時代。自從 iPhone 問世後，數位相機的銷量就一路下滑，多數人都用手機拍照。蔡司這時居然要進軍這個式微的市場，這是認真的嗎？

蔡司承諾 ZX1 將於 2019 年初上市，但拒絕透露售價。美國分公司的團隊打造了幾台原型機，蔡司也在科隆的世界影像博覽會（Photokina）上發表了這款相機。發表會場面盛大，員工以熱烈掌聲迎接到場的媒體，彷彿整個潮流完全翻轉。

最終，日方讓步。2019 年 1 月 20 日，尼康、ASML 和蔡司共同宣布達成協議：德荷雙方支付尼康 1.5 億歐元（ASML 占 1.31 億），換取其專利使用權至 2029 年，並同意 ASML 未來每台浸潤式設備支付 0.8％ 權利金，遠低於尼康原本的要求。

2019 年 10 月，空殼公司 Tarsium 悄然消失。至於那款 ZX1 相機呢？只有少數評測人員拿到了原型機。一些影片和部落格讚賞它的金屬鏡頭蓋和無聲快門，還附背帶。但這台相機究竟什麼時候才能買到？

ZX1 始終沒有真正開賣，更遑論出貨。每次有攝影師詢問，蔡司的官方回應都是：「我們對相機的每個細節都力求完美。」故事就這樣結束了。到了 2020 年，蔡司改口說 ZX1 只是一台「概念相機」。

不過，ZX1 也不是完全沒留下蹤跡。布令克在他的辦公室裡翻找出一個白色盒子。盒子正面印著「Zeiss ZX1」——包裝依然完整。他把相機舉到眼前，露出笑容。「全新的，不知道能不能用，我從來沒用它拍過照。」

本文摘自《造光者：晶片戰爭中最神秘的關鍵企業，微影巨人ASML制霸未來科技賽局的崛起之路》，2025 年 09 月，天下雜誌出版，未經同意請勿轉載。

量子糾纏的生活比喻：情感的同步

想像一下，你有一位從小就非常要好的朋友，無論他做什麼，你都感同身受。他吃下午茶，你也立刻想來一份；他開心，你也情不自禁地微笑；他難過，你也跟著心情低落。你們之間的情緒達到了百分之百的同步。雖然你們身處不同的地方，但似乎有一條無形的線將你們連接在一起。

這種神奇的連結，正是量子力學中的量子糾纏（Quantum Entanglement）。在微觀的量子世界裡，兩個曾經互相影響的粒子，即使相隔萬里，依然可以保持同步的狀態。一旦其中一個粒子的狀態被測量，另一個粒子的狀態也會立即確定，這種現象挑戰了我們對於時空和因果關係的理解。

角動量守恆與粒子自旋

要理解量子糾纏，我們首先需要了解角動量守恆和粒子的自旋。想像一顆靜止的砲彈，突然爆炸成兩個旋轉的碎片。根據角動量守恆定律，兩個碎片的旋轉方向必須相反，才能使總角動量保持為零。

在量子力學中，粒子的自旋類似於這種旋轉，但並非真正的物體旋轉，而是粒子固有的一種量子性質。一個自旋為零的粒子衰變成兩個帶有自旋的粒子時，兩者的自旋方向必須相反，以維持角動量的守恆。

然而，與宏觀世界不同的是，量子粒子的自旋狀態在被測量之前，處於一種「疊加態」，也就是說，它們同時具有多種可能的狀態，直到測量發生，狀態才被「塌縮」為確定的值。

EPR悖論：量子力學的挑戰

1935 年，愛因斯坦、波多爾斯基和羅森提出了著名的 EPR 悖論。他們認為，量子力學對於自然的描述並不完備，因為它無法預測單個粒子的確切狀態。他們設想，如果兩個粒子處於糾纏狀態，測量其中一個粒子的自旋方向，另一個粒子的自旋方向就立即確定，無論兩者距離多遠。

這似乎暗示著訊息以超光速傳遞，違反了相對論。然而，他們認為，應該存在一些「隱變量」來決定粒子的狀態，而不是量子力學的機率性描述。

貝爾不等式與實驗驗證

為了檢驗 EPR 悖論，物理學家貝爾在 1964 年提出了貝爾不等式。該不等式提供了一種方法，可以通過實驗來區分量子力學的預測和隱變量理論。

1972 年，約翰·克勞澤和他的同事首次進行了實驗驗證，結果支持量子力學的預測，違背了貝爾不等式。這意味著，量子糾纏的現象是真實存在的，粒子之間的連結不需要透過任何已知的訊息傳遞。

之後，阿蘭·阿斯佩等科學家進一步完善了實驗，消除了可能的漏洞，堅定了量子力學的立場。2022 年，克勞澤、阿斯佩和安東·塞林格因在量子糾纏領域的貢獻，共同獲得諾貝爾物理學獎。

「鬼魅般的超距作用」的理解

量子糾纏挑戰了傳統物理學對於因果和現實的理解。愛因斯坦稱之為「鬼魅般的超距作用」，因為它似乎違反了光速的限制。然而，現代物理學家認為，量子糾纏並不傳遞任何可用於通信的訊息，因此不違反相對論。

糾纏粒子之間的連結被視為量子系統的整體性質，而非個別粒子的屬性。當我們測量其中一個粒子時，整個系統的波函數發生了變化，導致另一個粒子的狀態也被確定。

量子糾纏的應用與未來

量子糾纏不僅僅是理論上的奇觀，它在實際應用中也展現了巨大的潛力。安東·塞林格成功地利用量子糾纏實現了量子隱形傳態，將一個粒子的量子態傳輸到遠方的另一個粒子上。

此外，量子糾纏在量子計算和量子通信中扮演關鍵角色。量子計算機利用糾纏態進行超高速的計算，而量子通信則提供了無法被破解的加密方式，保障訊息的安全。

結語：量子世界的奇妙之旅

量子糾纏揭示了自然界深層次的連結，挑戰了我們對於現實的直覺認知。儘管我們無法在宏觀世界中直接感受到這種現象，但它真實地存在於微觀的量子世界中，影響著未來科技的發展。