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用「閃電」鍍製觸控螢幕的導電膜

創新科技專案 X 解密科技寶藏_96
・2015/03/12 ・1890字 ・閱讀時間約 3 分鐘 ・SR值 565 ・九年級

文/劉珈均

工研院機械與系統所的團隊研發「大氣電漿鍍膜技術」,能在大氣常壓下鍍製透明導電膜,為目前已知唯一能常壓進行製程並達到商用品質的技術,此技術也曾獲得「R&D百大科技獎」與「華爾街日報科技創新獎(TIA)」。

手指滑過手機或平板電腦時,因為螢幕下面那層透明導電薄膜,機器才得以「感知」碰觸、執行功能。現在觸控面板常用ITO(Indium Tin Oxide,銦錫氧化物)作為透明導電材料,透明導電膜兩項主要的性能指標為電阻和透光率,ITO符合低電阻與高可見光穿透率,此外還具有良好的化學穩定性和熱穩定性、基材黏著性佳、利於圖形加工等優點。因此,在眾多可作為透明電極的材料中,ITO成為主流,應用也相當廣泛,觸控面板、太陽電池、液晶、電漿顯示器等光電產品皆可見ITO。

業務組長周大鑫博士說,研發初衷是為了節能,希望開發低耗能的光電產業鍍膜技術。現在鍍膜的製程為達到高品質,須在真空環境下進行,為了維持真空度,即便不鍍膜,真空設備也要持續運行,相當耗能;另一方面,銦是稀有金屬,主要出產自中國,來源不穩定,常有價格波動問題。隨著近年導入非銦材料取代ITO薄膜的議題亦趨熱門,團隊也研究導入非貴重金屬材料鍍製透明導電膜,降低製造成本與風險。

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大氣電漿鍍膜技術的計畫主持人、工研院機械所業務組長周大鑫博士。
大氣電漿鍍膜技術的計畫主持人、工研院機械所業務組長周大鑫博士。

相較於傳統真空環境製程,團隊的「大氣電漿鍍膜技術」省了一半以上的電力,也節省了60%的設備空間。大氣電漿製程最大缺點是材料出了噴嘴、碰到大氣便容易碰撞產生結晶,團隊技術的巧思在於「電漿噴嘴」(又稱電漿頭或電漿產生器)裡電極與氣流場特殊設計,在局部區域裡產生高密度的電弧。

團隊設計電漿噴嘴,使其電漿密度夠高,得以完整解離材料,透過氣流帶下來,讓材料順利覆在基板上形成一層薄膜。「有點像大自然現象的閃電,我們可以讓電弧產生的數量最多,產生的能量高,範圍也大。」周大鑫說,模組也整合電源供應器設計,控制電極的放電頻率,達到足夠溫度。

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機械所團隊開發的大氣鍍膜機器。電漿噴嘴的電漿密度夠高,完整解離氧化鋅,透過氣流帶下來,讓材料順利覆在基板上形成一層薄膜。
機械所團隊開發的大氣鍍膜機器。電漿噴嘴的電漿密度夠高,完整解離氧化鋅,透過氣流帶下來,讓材料順利覆在基板上形成一層薄膜。

「傳統也有大氣電漿技術,但能量沒像我們這麼高,所以只能做些表面清潔的工作。」周大鑫說,團隊的電漿密度高,得以完整解離材料,所以可在大氣條件下作鍍膜製程,甚至鍍製透明導電膜。高能量密度的電漿讓不同材料組合變得可行,團隊改以氧化鋅為鍍製材料,鍍出來的透明導電薄膜片電阻小於100 ohm/square,透明度90%以上,相當於市售的ITO薄膜水準。團隊計算過,觸控面板大約有三四成的成本都花在那透明導電膜,而用氧化鋅搭配大氣電漿技術,成本可降低為一成。(此為三年前的數據,現在透明導電膜成本較低了。)

團隊成員將玻璃基板放至鍍膜機並示範操作,此機器為線型鍍膜,鍍製疏水的功能性薄膜。
團隊成員將玻璃基板放至鍍膜機並示範操作,此機器為線型鍍膜,鍍製疏水的功能性薄膜。

大氣電漿鍍膜還可局部鍍製,讓製程環保許多。傳統上,若要局部鍍膜,得先全面鍍上一層,再用「黃光微影製程」去除不要的地方,過程中會產生許多化學廢液,新技術省下了這過程,避免了化學材料汙染。

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談及研發過程,周大鑫說,一開始大家聽到開發在非真空環境鍍膜技術的點子都覺得挑戰太大,難以達成。2008年計畫最初執行的那半年,團隊也果真鍍不出來,因為解離不完全,材料從噴嘴出來後接觸空氣立即結晶,在基板上覆上一層顆粒狀粉末,變成「一盤散沙」而不是融合成一層薄膜。後來調整電極模組設計、調整材料配方,隔年才成功鍍膜,再經兩三年改良製程,才鍍出透明導電膜。

不同的功能性薄膜的製程有差異,但概念與設備大致相同,只是更換材料組成。因此,此技術除了用於製作觸控面板的透明導電薄膜,作為ITO的替代品,也可以跨產業,用於其他功能性鍍膜製程,如表面抗污、疏水、親水等,除了硬材質的玻璃或塑膠產品表面鍍膜,周大鑫也期望未來延伸至軟性材基材元件,應用於穿戴式設備。

研發大氣電漿鍍膜技術的團隊。
研發大氣電漿鍍膜技術的團隊。

更多資訊請參考解密科技寶藏

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創新科技專案 X 解密科技寶藏_96
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由 19 個國家級產業科技研發機構,聯手發表「創新科技專案」超過 80 項研發成果。手法結合狂想與探索,包括高度感官互動的主題式「奇想樂園」區,以及分享科技新知與願景的「解密寶藏」區。驚奇、專業與創新,激發您對未來的想像與憧憬!

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從奈米微塵到化學氣體, HEPA 與活性碳如何聯手打造純淨空氣?
鳥苷三磷酸 (PanSci Promo)_96
・2026/04/17 ・4433字 ・閱讀時間約 9 分鐘

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本文由 Amway 委託,泛科學企劃執行。

很多人可能沒想到,無論是家用的空氣清淨機,還是造價動輒百億的頂尖晶圓廠,它們對抗污染的核心武器並非什麼複雜的雷射防護罩,而是一片外觀像紙一樣的 HEPA 濾網
在半導體產業的無塵室中,「乾淨」的定義極其殘酷:一粒肉眼看不見的灰塵,就足以讓造價數百萬美元的晶圓直接報廢 / 圖片來源:envato

到底怎樣才算是「乾淨」?這不是什麼靈魂拷問,而是一個價值上億的商業命題。

在半導體產業的無塵室中,「乾淨」的定義極其殘酷:一粒肉眼看不見的灰塵,就足以讓造價數百萬美元的晶圓直接報廢。空氣品質的好壞,甚至能成為台積電(TSMC)決定是否在當地設廠的關鍵性指標。回到你的家中,雖然不需要生產精密晶片,但我們呼吸系統中的肺泡同樣精密,卻長期暴露在充滿 PM2.5、病毒以及各種揮發性氣體的環境中。為了守護健康,你可能還要付費購買「乾淨的空氣」來用。

因此,空氣議題早已超越單純的環保範疇,成為同時影響國家經濟與個人健康的重要問題。

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很多人可能沒想到,無論是家用的空氣清淨機,還是造價動輒百億的頂尖晶圓廠,它們對抗污染的核心武器並非什麼複雜的雷射防護罩,而是同一件看起來平凡無奇的東西:一片外觀像紙一樣的 HEPA 濾網。但你真的相信,就憑這層厚度不到幾公分的板子,能擋住那些足以毀滅精密晶片、滲透人體細胞的「奈米級刺客」嗎?

這片大家都聽過的 HEPA 濾網,裡面到底是什麼?

首先,我們必須打破一個直覺上的誤解:HEPA 濾網(High Efficiency Particulate Air filter)在本質上其實並不是一張「網」。

細懸浮微粒 PM2.5,是指粒徑在 2.5 微米以下的污染物,它們能穿過呼吸道直達肺泡,並穿過血管引發全身性發炎。但這只是基本,在工廠與汽車尾氣中,還存在粒徑僅有 1 微米的 PM1,甚至是小於 0.1 微米的「超細懸浮微粒」(UFP,即 PM0.1)。 UFP 不僅能輕易進入血液,甚至能繞過血腦屏障(BBB),進入大腦與胎盤,其破壞力十分可怕。

如果 HEPA 濾網像水槽濾網或麵粉篩一樣,單靠孔目大小來「過濾」粒子,那麼為了攔截奈米微粒,濾網的孔目只能無限縮小到幾乎不透氣的程度。更別說在台積電或 Intel 的製程工程師眼裡,一般人認為的「乾淨」,在工程師眼裡簡直像沙塵暴一樣。對於線寬僅有 2 奈米3 奈米(相當於頭髮直徑萬分之一)的晶片而言,空氣中一顆微小的塵埃,就是一顆足以毀滅世界的隕石。

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因此,傳統的過濾思維並非治本之道,我們需要的是原理截然不同的過濾方案。這套技術的雛形,最早可追溯至二戰時期的「曼哈頓計畫」。

HEPA 的前身,誕生於曼哈頓計畫!

1940 年代,製造濃縮鈾是發展原子彈的關鍵。然而,若將排氣直接排向大氣,會導致致命的放射性微粒擴散。負責解決這問題的是 1932 年諾貝爾化學獎得主歐文·朗繆爾(Irving Langmuir),他是薄膜和表面吸附現象的專家。他開發了「絕對過濾器」(Absolute Filter),其內部並非有孔的篩網,而是石綿纖維。

有趣的來了,如果把過濾器放到顯微鏡下,你會發現纖維之間的空隙,其實比某些被攔截的粒子還要大。那為什麼粒子穿不過去呢?這是因為在奈米尺度下,物理規則與宏觀世界完全不同。極微小的粒子在空氣中飛行時,並非走直線,而是會受到空氣分子撞擊,而產生「布朗運動」(Brownian Motion),像個醉漢一樣東倒西歪。

當粒子通過由緻密纖維構成的混亂迷宮時,布朗運動會迫使它們不斷轉彎、移動,最終撞擊到帶有靜電的纖維上。這時,靜電的吸附力會讓纖維就像蜘蛛網般死死黏住微粒。那些狂亂移動的奈米刺客,就這樣被永久禁錮迷宮中。

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現在最常見的 HEPA 材料,是硼矽酸鹽玻璃纖維。

現代 HEPA 濾網最常見的核心材料為硼矽酸鹽玻璃纖維。這些玻璃纖維的直徑通常介於 0.5 至 2 微米之間,它們在濾網內隨機交織,像是一座茂密「黑森林」。微粒進入這片森林後,並非僅僅面對一層薄紙,而是得穿越一個具有厚度且排列混亂的纖維層,微粒極有可能在布朗運動的影響下撞擊並黏附在某根玻璃絲上。

除此之外,HEPA 濾網在外觀上還有一個極具辨識度的特徵,那就是像手風琴般的摺紙結構。濾材會被反覆摺疊、摺成手風琴的形狀,中間則用鋁箔或特殊的防潮紙進行結構支撐,目的是增加表面積。這不僅為了捕獲更多微粒,而是要「降低過濾風速」。這聽起來可能有點反直覺:過濾不是越快越好嗎?

其實,這與物理學中的流速控制有關。想像一條水管,如果你捏住出口,水流會變得湍急;若將出口放開並擴大,雖然總出水量不變,但出水處的流速會變得緩慢。對於 HEPA 濾網而言,當表面積越大,單位面積所需承載的空氣量就越少,空氣穿透濾網的速度也就越低。

低流速代表微粒停留在濾網內的時間也更久,增加被捕捉的機會。此外,越大的表面積也為 HEPA 濾網帶來了高「容塵量」,延長了使用壽命,這正是它能夠稱霸空氣清淨領域多年的主因。

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然而,即便都叫做 HEPA 高效率空氣微粒子過濾網 (High Efficiency Particulate Air filter),但每個 HEPA 的成分與結構還是會不一樣。例如 安麗逸新空氣清淨機 SKY ,其標榜「可過濾粒徑最小至 0.0024 微米」的污染物,去除率高達 99.99%。

0.0024 微米是什麼概念?塵蟎、花粉、皮屑或黴菌孢子,大小約在 2 至 200 微米;細懸浮微粒  PM2.5 大小約 2.5 微米,細菌也大概這麼大。最小的其實是粒徑小於 0.1 微米的「超細懸浮微粒」,大多數的病毒(如流感、新冠病毒)都落在此區間。對安麗逸新 的HEPA濾網來說,基本上通通都是可被攔截的榜上名單。

在過敏防護上,它更獲得英國過敏協會(Allergy UK)認證,能有效處理 19 大類、102 種過敏原,濾除空氣中超過 300 種氣態與固態污染物。

同樣的過濾邏輯一旦進入半導體無塵室,就必須換一條更為嚴苛的技術路線。因為硼矽酸鹽玻璃纖維對晶圓來說有個致命傷,就是「硼 (Boron)」 / 圖片授權:Shutterstock

然而,同樣的過濾邏輯一旦進入半導體無塵室,就必須換一條更為嚴苛的技術路線。因為硼矽酸鹽玻璃纖維對晶圓來說有個致命傷,就是「硼 (Boron)」。

在半導體製程中,硼是常見的 P 型摻雜物,用來精準改變矽晶圓的電性。如果濾網有任何微小的破損、老化或化學侵蝕,進而釋放出極微量的硼離子,就可能直接污染晶圓,改變其導電特性,導致晶片報廢。

此外,無塵室要求的是比 HEPA 更極致的 ULPA(超低穿透率空氣濾網) 等級的潔淨度。ULPA 的標準通常要求對 0.12 微米 的粒子達到 99.999% 甚至 99.9999% 的超高攔截率。在奈米級的競爭中,任何多穿透的一顆微塵,都代表著一筆不小的經濟損失。

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為了解決「硼」的問題並追求極限的過濾效率,材料學家搬出了塑膠界的王者,PTFE 也鐵氟龍。鐵氟龍不僅耐酸鹼、耐腐蝕,還能透過拉伸製成直徑僅 0.05 至 0.1 微米 的極細纖維,其細度遠勝玻璃纖維。雖然 PTFE 耐化學腐蝕,但它既昂貴且物理上也很脆弱,安裝時若不小心稍微觸碰,數萬元的濾網就可能報銷。因此,你只會在晶圓廠而非一般家庭環境看到它。

即便如此,在空氣濾淨系統中,還有一樣是無塵室和你家空氣清淨器上面都有的另一張濾網,就是活性碳濾網。

活性碳如何從物理攔截跨越到分子吸附?

好不容易將微塵擋在門外時,危機卻還沒有解除。因為空氣中還隱藏著另一類更難纏的大魔王:AMC(氣態分子污染物)

HEPA 或 ULPA 這類物理濾網雖然能攔截固體微粒,但面對氣態分子時,就像是用網球拍想撈起水一樣徒勞。這些氣態分子如同「幽靈」一般,能輕易穿過物理濾網的縫隙,其中包括氮氧化物、二氧化硫,以及來自人體的氨氣與各種揮發性有機物(VOCs)。

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為了對付這些幽靈,我們必須在物理防線之外,加裝一道「化學濾網」。

這道防線的核心就是我們熟知的活性碳。但這與烤肉用的木炭不同,這裡使用的是經過特殊改造的「浸漬處理(Impregnation)」活性碳。材料科學家會根據敵人的不同性質,在活性碳上添加不同的化學藥劑:

  • 酸鹼中和:對付氮氧化物、二氧化硫等酸性氣體,會在活性碳上添加碳酸鉀、氫氧化鉀等鹼性藥劑,透過酸鹼中和反應將有害氣體轉化為固體鹽類。反之,如果添加了磷酸、檸檬酸等酸性藥劑,就能中和空氣中的氨氣等鹼類。
  • 物理吸附與凡德瓦力:對於最麻煩的有機揮發物(VOCs,如甲醛、甲苯),因為它們不具酸鹼性,科學家會精密調控活性碳的孔徑大小,利用龐大的「比表面積」與分子間的吸引力(凡德瓦力),像海綿吸水般將特定的有機分子牢牢鎖在孔隙中。
活性碳如何從物理攔截跨越到分子吸附? / 圖片來源:Amway

空氣濾淨的終極邏輯:物理與化學防線的雙重合圍

在晶圓廠這種對空氣品質斤斤計較的極端環境,活性碳的運用並非「亂槍打鳥」,而是一場極其精密的對戰策略。

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工程師會根據不同製程區域的空氣分析報告,像玩 RPG 遊戲時根據怪物屬性更換裝備一樣——「打火屬性怪要穿防火裝,打冰屬性則換上防寒裝」。在最關鍵的黃光微影區(Photolithography),晶圓最怕的是人體呼出的氨氣,此時便會配置經過酸性藥劑處理的活性碳進行精準中和;而在蝕刻區(Etching),若偵測到酸性廢氣,則會改用鹼性配方的濾網。這種「對症下藥」的客製化邏輯,是確保晶片良率的唯一準則。

而在你的家中,雖然我們無法像晶圓廠那樣天天進行空氣成分分析,但你的肺部同樣需要這種等級的保護。安麗逸新空氣清淨機 SKY 的設計邏輯,正是將這種工業級的精密防護帶入家庭。它不僅擁有前述的高規 HEPA 濾網,更搭載了獲得美國專利的活性碳氣味濾網。

關於活性碳,科學界有個關鍵指標:「比表面積(Specific Surface Area)」。活性碳的孔隙越多、表面積越大,其吸附能力就越強。逸新氣味濾網選用高品質椰殼製成的活性碳,並經過高溫與蒸氣的特殊活化處理,打造出多孔且極致高密度的結構。

這片濾網內的活性碳配重達 1,020 克,但其展開後的總吸附表面積竟然高達 1,260,000 平方公尺——這是一個令人難以想像的數字,相當於 10.5 個台北大巨蛋 的面積。這種超高的比表面積,是市面上常見濾網的百倍之多。更重要的是,它還添加了雙重觸媒技術,能特別針對甲醛、戴奧辛、臭氧以及各種細微的異味分子進行捕捉。這道專利塗層防線,能將你從裝潢家具散發的有機揮發氣體,或是路邊繁忙車流的廢氣中拯救出來,成為全家人的專屬空氣守護者。

總結來說,無論是造價百億的半導體無塵室,還是守護家人的空氣清淨機,其背後的科學邏輯如出一轍:「物理濾網攔截微粒,化學濾網捕捉氣體」。只有當這兩道防線同時運作,空氣才稱得上是真正的「乾淨」。

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觸控面板的秘密:從靜電到你的指尖魔法——《物理角色圖鑑》
azothbooks_96
・2024/09/24 ・1254字 ・閱讀時間約 2 分鐘

歐姆定律:電流與電壓的完美協奏

川村老師,請用簡單的方式告訴我「歐姆定律」是什麼?

★歐姆定律,德國物理學家歐姆提出,在溫度不變時,流經金屬導線的電流I 與導線兩端的電壓 V 成正比,兩者的關係為 V=RI,R 是導線的電阻,單位為歐姆 Ω。圖/《物理角色圖鑑》
圖/《物理角色圖鑑》

老師:的方式會使電流變弱。電阻定律告訴我們,金屬導線的電阻 R 與長度 L 成正比,也就是導線愈長,電阻愈大。相反的,截面積 S 愈大,電阻愈小。

貓咪:能捲太多圈嗎?喵!

老師:這樣會讓導線長度增加。電阻 Rρ L/ Aρ 是電阻率。

圖/《物理角色圖鑑》

觸控面板的原理

觸控面板是貼附在螢幕玻璃表面上的薄膜,手機與電腦普遍使用的觸控面板是利用靜電原理進行感應。觸控面板有許多感應方法,最具代表性的是電容式觸控與電阻式觸控。手機使用的是電容式觸控面板,利用靜電就能讓 CPU 知道手指是否放在螢幕上。

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觸控面板中縱橫交錯著許多表面帶靜電的電極陣列,如下圖。

圖/《物理角色圖鑑》

手指碰到觸控面板時,會吸走該位置的靜電,感測器便據此判斷何處有靜電釋放。用一般的筆或戴著手套觸碰時,手機不會有反應,是因為其他東西與手指不同,不會導電,所以也不會釋放靜電。

電阻式觸控面板無法多點觸控;也就是說,不能用兩根手指同時操作。使用手機時,可以用拇指和食指同時觸碰面板,然後手指張開把照片放大,或手指閉合把照片縮小,電阻式觸控面板就沒辦法這麼方便。

電阻式觸控面板的電流是從兩片膜之間通過;手指碰觸時,上層膜會接觸到下層膜,使電阻降低,表示該處有電流通過,此時感測器便可讀取到接觸點位置。電阻式面板是透過壓力來操控,與觸控媒介是否導電無關;所以用筆、指甲來觸碰,螢幕也會有反應。這種面板也能感應觸碰壓力的強弱,因此常用於遊戲機。

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圖/《物理角色圖鑑》

——本文摘自《物理角色圖鑑:用35個萌角色掌握最重要的物理觀念,秒懂生活中的科普知識》,2024 年 9 月,漫遊者文化,未經同意請勿轉載。

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azothbooks_96
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