八爪博士 4ni！？《蜘蛛人》裡的人造太陽或將問世？（上）

本文由 ASM 委託，泛科學企劃執行。 

以人類現在的科技，我們能精準打造出每一面牆只有原子厚度的房子嗎？在半導體的世界，我們做到了！

如果將半導體製程比喻為蓋房子，「薄膜製程」就像是在晶片上堆砌層層疊疊的磚塊，透過「微影製程」映照出房間布局 — 也就是電路，再經過蝕刻步驟雕出一格格的房間 — 電晶體，最終形成我們熟悉的晶片。為了打造出效能更強大的晶片，我們必須在晶片這棟「房子」大小不變的情況下，塞進更多如同「房間」的電晶體。

因此，半導體產業內的各家大廠不斷拿出壓箱寶，一下發展環繞式閘極、3D封裝等新設計。一下引入極紫外曝光機，來刻出更微小的電路。但別忘記，要做出這些複雜的設計，你都要先有好的基底，也就是要先能在晶圓上沉積出一層層只有數層原子厚度的材料。

現在，這道薄膜製程成了電晶體微縮的一大關鍵。原子是物質組成的基本單位，直徑約0.1奈米，等於一根頭髮一百萬分之一的寬度。我們該怎麼精準地做出最薄只有原子厚度，而且還要長得非常均勻的薄膜，例如說3奈米就必須是3奈米，不能多也不能少？

這唯一的方法就是原子層沉積技術（ALD，Atomic Layer Deposition）。

小小的電晶體是怎麼做出來的？

蓋房子的第一步是什麼？沒錯，就是畫設計圖。只不過，在半導體的世界裡，我們不需要大興土木，就能將複雜的電路設計圖直接印到晶圓沉積的材料上，形成錯綜複雜的電路 — 這就是晶片製造的最重要的一環「微影製程」。

首先，工程師會在晶圓上製造二氧化矽或氮化矽絕緣層，進行第一次沉積，放上我們想要的材料。接著，為了在這層材料上雕出我們想要的電路圖案，會再塗上光阻劑，並且透過「曝光」，讓光阻劑只留下我們要的圖案。一次的循環完成後，就會換個材料，重複沉積、曝光、蝕刻的流程，這就像蓋房子一樣，由下而上，蓋出每個樓層，最後建成摩天大樓。

薄膜沉積是關鍵第一步，基底的品質決定晶片的穩定性。但你知道嗎？不只是堆砌磚塊有很多種方式，薄膜沉積也有多樣化的選擇！在「薄膜製程」中，材料學家開發了許多種選擇來處理這項任務。薄膜製程大致可分為物理和化學兩類，物理的薄膜製程包括蒸鍍、濺鍍、離子鍍、物理氣相沉積、脈衝雷射沉積、分子束磊晶等方式。化學的薄膜製程包括化學氣相沉積、化學液相沉積等方式。不同材料和溫度條件會選擇不同的方法。

化學氣相沉積是現今最常見的沉積技術

二氧化矽、碳化矽、氮化矽這些半導體材料，特別適合使用化學氣相沉積法（CVD, Chemical Vapor Deposition）。CVD 的過程也不難，氫氣、氬氣這些用來攜帶原料的「載氣」，會帶著要參與反應的氣體或原料蒸氣進入反應室。當兩種以上的原料在此混和，便會在已被加熱的目標基材上產生化學反應，逐漸在晶圓表面上長出我們的目標材料。

如果我們想增強半導體晶片的工作效能呢？那麼你會需要 CVD 衍生的磊晶（Epitaxy）技術！磊晶的過程就像是在為房子打「地基」，只不過這個地基的每一個「磚塊」只有原子或分子大小。透過磊晶，我們能在矽晶圓上長出一層完美的矽晶體基底層，並確保這兩層矽的晶格大小一致且工整對齊，這樣我們建造出來的摩天大樓就有最穩固、扎實的基礎。磊晶技術的精度也是各公司技術的重點。

雖然 CVD 是我們最常見的薄膜沉積技術，但隨著摩爾定律的推進，發展 3D、複雜結構的電晶體構造，薄膜也開始需要順著結構彎曲，並且追求精度更高、更一致的品質。這時 CVD 就顯得力有未逮。

原子層沉積是什麼？

並不是說 CVD 不能用，實際上，不管是 CVD 還是其他薄膜製程技術，在半導體製程中仍占有重要地位。但重點是，隨著更小的半導體節點競爭愈發激烈，電晶體的設計也開始如下圖演變。

看出來差別了嗎？沒錯，就是構造越變越複雜！這根本是對薄膜沉積技術的一大考驗。

舉例來說，如果要用 CVD 技術在如此複雜的結構上沉積材料，就會出現像是清洗杯子底部時，有些地方沾不太到洗碗精的狀況。如果一口氣加大洗碗精的用量，雖然對杯子來說沒事，但對半導體來說，那些最靠近表層的地方，就會長出明顯比其他地方厚的材料。

該怎麼解決這個問題呢？

材料學家的思路是，要找到一種方法，讓這層薄膜長到特定厚度時就停止繼續生長，這樣就能確保各處的薄膜厚度均勻。這種方法稱為 ALD，原子層沉積，顧名思義，以原子層為單位進行沉積。其實，ALD 就是 CVD 的改良版，最大的差異在所選用的化學氣體前驅物有著顯著的「自我侷限現象」，讓我們可以精準控制每次都只鋪上一層原子的厚度，並且將一步驟的反應拆為兩步驟。

在 ALD 的第一階段，我們先注入含有 A 成分的前驅物與基板表面反應。在這一步，要確保前驅物只會與基板產生反應，而不會不斷疊加，這樣，形成的薄膜，就絕對只有一層原子的厚度。反應會隨著表面空間的飽和而逐漸停止，這就稱為自我侷限現象。此時，我們可以通入惰性氣體將多餘的前驅物和副產物去除。在第二階段，我們再注入含有 B 成分的化學氣體，與早已附著在基材上的 A 成分反應，合成為我們的目標材料。

透過交替特殊氣體分子注入與多餘氣體分子去除的化學循環反應，將材料一層一層均勻包覆在關鍵零組件表面，每次沉積一個原子層的薄膜，我們就能實現極為精準的表面控制。

ASM 與 ALD、半導體產業攜手前進

你知道 ALD 領域的龍頭廠商是誰嗎？這個隱形冠軍就是 ASM！ASM 是一家擁有 50 年歷史的全球領先半導體設備製造廠商，自 1968 年，Arthur del Prado 於荷蘭創立 ASM 以來，ASM 一直都致力於推進半導體製程先進技術。2007 年，ASM 的產品 Pulsar ALD 更是成為首個運用在量產高介電常數金屬閘極邏輯裝置的沉積設備。至今 ASM 不僅在 ALD 市場佔有超過 55% 的市佔率，也在 PECVD、磊晶等領域有著舉足輕重的重要性。

ASM 一直持續在快速成長，現在在北美、歐洲、及亞洲等地都設有技術研發與製造中心，營運據點廣布於全球 15 個地區。ASM 也很看重有「矽島」之稱的台灣市場，目前已在台灣深耕 18 年，於新竹、台中、林口、台南皆設有辦公室，並且在 2023 年於南科設立培訓中心，高雄辦公室也將於今年年底開幕！

當然，ALD 也不是薄膜製程的終點。

ASM 作為半導體設備領導廠商，為了維持領先優勢，當然也得持續開發新技術。例如 PEALD，ALD 前面的 PE，是 Plasma Enhanced，所以這種改良技術就稱為電漿輔助式原子層沉積。做法是針對 ALD 的第一步，先以電漿方式，將氫、氧、氮等氣體電離成離子。這些氣體離子，例如氧自由基，會先將前驅物提前氧化，同時也氧化基材的表面原子，使其產生缺少電子配對、不穩定的「懸空鍵」。如此被活化的基材與前驅物，就更容易互相產生反應，解決過去 ALD 常遇到前驅物反應率不足的問題。讓反應溫度更低的同時還能加快反應速度，因此能滿足更多的製程需求。未來不論是 GAA 環繞式閘極電晶體還是其他製程，都會持續看到 ALD 技術的身影。

最後，ASM 即將出席由國際半導體產業協會主辦的 SEMICON Taiwan 策略材料高峰論壇和人才培育論壇，就在 9 月 5 號的南港展覽館。如果你想掌握半導體產業的最新趨勢，絕對不能錯過！

本文由 美國穀物協會 委託，泛科學企劃執行。

你加過「酒精汽油」嗎？

2007 年，從台北的八座加油站開始，民眾可以在特定加油站選加「E3 酒精汽油」。

所謂的 E3，指的是汽油中有百分之 3 改為酒精。如果你在其他國家的加油站看到 E10、E27、E100 等等的標示，則代表不同濃度，最高到百分之百的酒精。例如美國、英國、印度、菲律賓等國家已經開放到 E10，巴西則有 E27 和百分之百酒精的 E100 選項可以選擇。

為什麼要加酒精呢？

單論玉米乙醇來說，碳排放趨近於零。為什麼呢？因為從玉米吸收二氧化碳與水進行光合作、生長、成熟，接著被採收，發酵成為玉米乙醇，最後燃燒成二氧化碳與水蒸氣回到大氣中。這一整趟碳循環與水循環，淨排放都是 0，是個零碳的好燃料來源。

當然，我們無法忽略的是燃料運輸、儲藏、以及製造生產設備時產生的碳足跡。即使如此，美國農業部經過評估分析，2017 發表的報告指出，玉米乙醇生命週期的碳排放量比汽油少了 43%。

「玉米乙醇」納入 SAF（永續航空燃料）前瞻性指引的選項之一

航空業占了全球碳排的 2.5%，而根據國際民用航空組織（ICAO）的預測，這個數字還會成長，2050 年全球航空碳排放量將會來到 2015 年的兩倍。這也使得以生質原料為首的「永續航空燃料」SAF，開始成為航空業減碳的關鍵，及投資者關注的新興科技。

只要燃料的生產符合永續，都可被歸類為 SAF。目前美國材料和試驗協會規範的 SAF 包含以合成方式製造的合成石蠟煤油 FT-SPK、透過發酵與合成製造的異鏈烷烴 SIP。以及近年討論度很高，以食用油為原料進行氫化的 HEFA，以及酒精航空燃料 ATJ（alcohol-to-jet）。

每種燃料的原料都不相同，因此需要的技術突破也不同。例如 HEFA 是將食用油重新再造成可用的航空燃料，因此製造商會從百萬間餐廳蒐集廢棄食用油，再進行「氫化」。

就引擎來說，我們當然也希望用到穩定的油。因此需要氫化來將植物油轉化為如同動物油般的飽和脂肪酸。氫化會打斷雙鍵，以氫原子佔據這些鍵結，讓氫在脂肪酸上「飽和」。此時因為穩定性提高，不易氧化，適合保存並減少對引擎的負擔。

至於酒精加工為酒精航空燃料 ATJ 的流程。乙醇會先進行脫水為乙烯，接著聚合成約 6~16 碳原子長度的長鏈烯烴。最後一樣進行氫化打斷雙鍵，成為長鏈烷烴，性質幾乎與傳統航空燃料一模一樣。

ATJ 和 HEFA 雖然都會經過氫化，但 ATJ 的反應中所需要的氫氣大約只有一半。另外，HEFA 取用的油品來源來自餐廳，雖然是幫助廢油循環使用的好方法，但供應多少比較不穩定。相對的，因為 ATJ 來源是玉米等穀物，通常農地會種植專門的玉米品種進行生質乙醇的生產，因此來源相對穩定。

但不論是哪一種 SAF，都有積極發展的價值。而航空業也不斷有新消息，例如阿聯酋航空在 2023 年也成功讓波音 777 以 100％ 的 SAF 燃料完成飛行，締下創舉。

汽車業也需要作出重要改變

根據長年推動低碳交通的國際組織 SLoCaT 分析，在所有交通工具的碳排放中，航空業佔了其中的 12%，而公路交通則占了 77%。沒錯，航空業雖然佔了全球碳排的 2.5%，但真正最大宗的碳排來源，還是我們的汽車載具。

但是這個新燃料會不會傷害我們的引擎呢？有人擔心，酒精可能會吸收空氣中的水氣，對機械設備造成影響？

其實也不用那麼擔心，畢竟酒精汽油已經不只是使用一、二十年的東西了。美國聯邦政府早在 1978 就透過免除 E10 的汽油燃料稅，來推廣添加百分之 10 酒精的低碳汽油。也就是說，酒精汽油的上路試驗已經快要 50 年。

有那麼多的研究數據在路上跑，當然不能錯過這個機會。美國國家可再生能源實驗室也持續進行調查，結果發現，由於 E10 汽油摻雜的比例非常低，和傳統汽油的化學性質差異非常小，這 50 年來的車輛，只要符合國際標準製造，都與 E10 汽油完全相容。

解惑：這些生質酒精的來源原料是否符合永續的精神嗎？

在環保議題裡，這種原本以為是一片好心，最後卻是環境災難的案例還不少。玉米乙醇也一樣有相關規範，例如歐盟在再生能源指令 RED II 明確說明，生質乙醇等生物燃料確實有持續性，但必須符合「永續」的標準，並且因為使用的原料是穀物，因此需要確保不會影響糧食供應。

好消息是，隨著目標變明確，專門生產生質酒精的玉米需求增加，這也帶動品種的改良。在美國，玉米產量連年提高，種植總面積卻緩步下降，避開了與糧爭地的問題。

另外，單位面積產量增加，也進一步降低收穫與運輸的複雜度，總碳排量也觀察到下降的趨勢，讓低碳汽油真正名實相符。

隨著航空業對永續航空燃料的需求抬頭，低碳汽油等生質燃料或許值得我們再次審視。看看除了鋰電池車、氫能車以外，生質燃料車，是否也是個值得加碼投資的方向？

參考資料

• Corn to Power Airplanes? Biden Administration Sets a High Bar. – The New York Times
• 台灣中油全球資訊網-加油站查詢
• https://grains.org.tw/最新科學研究：玉米燃料乙醇大幅減少溫室氣體排/
• USDA Releases New Report on Lifecycle Greenhouse Gas Balance of Ethanol
• https://scijournals.onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/bbb.2225
• 本田・GE100% 可持續燃料航空引擎測試成功
• 阿聯酋航空邁向永續 完成 100％ SAF 驅動單一引擎首航
• https://tcc-gsr.com/module-1/transforming-transport-and-mobility/

• 作者／張郁婕
  • 日本大阪大學人間科學研究科、清大工科系畢
  • 現為國際新聞編譯

• Take Home Message
  • 自 2011 年福島第一核電廠發生事故後，為了冷卻反應爐和防範地下水受汙染而每天產生核廢水，目前儲水空間即將不足。
  • 雖然經處理過後的核廢水含有放射性物質，不過濃度低於排放標準，日本政府將核廢水排放到海洋的做法獲得國際原子能總署背書。
  • 日本漁業業者相當不滿、認為有其他解決方案，臺灣政府僅表達「遺憾與反對」，並無進一步作為。

福島第一核電廠自 2011 年發生事故後，時隔 12 年再次躍上多國新聞版面。但這次不是因為災後核電廠除役與復興、訴訟或是 Netflix 上架的日劇《核災日月》，而是存放在福島第一核電廠廠區內的「核廢水」即將排放大海。福島第一核電廠的「核廢水」從何而來？又為什麼要在這個時間點排入大海？

回到地震發生時的核電廠

時間回到 2011 年 3 月 11 日。當時東日本大地震與隨後而來的海嘯摧毀了福島第一核電廠的電力系統，導致核電廠在停機之後無法持續注入冷卻水，直到反應爐冷卻。因此發生 1、3、4 號機組氫氣爆炸、1～3 號機組爐心熔毀，以及 1 ～ 4 號機組輻射外洩的事件 ^註1。這次事故更被歸類為國際核能事件最高級別（第 7 級）的最嚴重意外事故。

在事故發生後，首當要務就是持續冷卻反應爐，直到反應爐的溫度降低。冷卻反應爐需要水，所以當時曾引進海水作為冷卻水。這些在福島第一核電廠事故當下出現在廠房內、遭到放射性核種汙染的水，就是日後的「核廢水」。加上當地曾遭到海嘯襲擊，因此這些受到輻射汙染的核廢水也含有鹽分。

但廠區內受到輻射汙染的水並不是只有事故發生當下出現在廠房內的水，事故發生後只要雨水剛好落在福島第一核電廠廠房上，或是地下水流經福島第一核電廠房底下，都會受到放射性核種汙染。

保護地下水也會產生核廢水

作為營運福島第一核電廠的東京電力公司，在事故發生後的首要任務就是防止更多乾淨的水遭到輻射汙染，同時也要防止受到輻射汙染的水流出廠房外。所以他們在福島第一核電廠 1～4 號機組外加裝擋水牆，希望隔絕乾淨的地下水流經廠房底下，但這些擋水牆實際上無法有效防止地下水從四面八方流經福島第一核電廠正下方。

再考慮到水的流向，寧可讓乾淨的水流進廠房底下受到輻射汙染、也不能讓受到輻射汙染的水外流，所以東京電力公司必須一直抽取廠房內部受到輻射汙染的水，讓廠房內的地下水位略低於廠房外的水位；但在抽水時又不能使廠房內的水位低太多，否則將會一口氣湧入更大量的地下水、產生更多受到輻射汙染的水。

時至今日，東京電力公司仍每天汲取流經 1～4 號機組的雨水與地下水，使得福島第一核電廠即使到現在，每天都還是會產生核廢水。經過 12 年來的各種嘗試，近年新增的廢水總量已有減少的趨勢，去（2022）年每日平均產生約 90 公噸的核廢水，已是事故發生以來最低的數值。

如何處理核廢水？

受到輻射汙染的水在被排放之前需要經過幾道淨化流程。首先是利用「銫吸附裝置」除去水中一部分的銫（caesium, Cs）和鍶（strontium, Sr），再經過淡水化裝置除去水中的鹽分，否則海水中的鹽分會侵蝕、損害廠房設備。接下來這些水有兩種命運：循環再利用或是成為核廢水。

循環再利用

循環再利用是指受到輻射汙染的水經上述淨化處理後，可以回到福島第一核電廠 1～3 號機組，作為反應爐的冷卻水及輻射防護屏障。即便如此，這些受到輻射汙染的總水量遠多於福島第一核電廠 1～3 號機組的需求，所以絕大多數的水被汲取上岸後，都得存放在福島第一核電廠廠房內一桶又一桶的巨大水槽內，成為沒有其他用途的核廢水。

ALPS 處理水

為了降低核廢水的放射性核種濃度，這些存放在巨型水槽內的核廢水會經過專為福島第一核電廠事故設計的多核種除去設備（advanced liquid processing system, ALPS），而經過 ALPS 淨化處理的核廢水又稱「ALPS 處理水」。

「多核種除去設備」，顧名思義利用物理或化學方法，大幅降低 62 種人造放射性核種的濃度 ^註2，但唯獨不能處理氫的同位素——氚（tritium, ³H）。這不是因為多核種除去設備成效不彰，而是即便開發其他設備也很難將氚從水中分離。

由於水分子包含氫原子，而氚和氫是同位素，它們的物理性質和化學性質幾乎一樣，難以使用物理或化學方法將它們分離，因此無法利用 ALPS 或其他方式濾掉氚。

快滿出來的核廢水

事實上，福島第一核電廠以外的一般核電廠所排放的廢水當中就含有氚，不過在一般情況下並不會特別放大檢視核電廠廢水當中的氚濃度。

此外，自然界中本來就含有氚，我們日常在使用或是飲用的水中也含有非常微量的氚。例如臺灣對飲用水中氚的容許濃度標準為每公升 740 貝克（Bq），並沒有要求零檢出，也就是數值低到儀器驗不出來的程度。

但福島第一核電廠的核廢水並不一樣，因為這些是流經福島第一核電廠、遭到人造放射性核種汙染過的水。即使是已處理過的 ALPS 處理水，除了氚之外還是包含低量、因反應爐爐心熔毀而外洩的人造核種，並不能直接排到自然界中。

所以這些水自福島第一核電廠事故以來，被汲取上岸後就一直存放於福島第一核電廠廠區內。

然而福島第一核電廠廠區空間有限，按照它每天產生核廢水的速度來推算，今（2023）年 4 月最新的估計是最快在明（2024）年 2 月以後儲水空間就會不足。該如何為這些存放在廠區內的核廢水找尋新的出路，就成了近年難題。

這個問題在 2013 年討論之初，曾列舉了排放到大海、注入地層、埋到地底下、電解成氫氣後排放到大氣中、轉換成水蒸氣排放到大氣中五種方法。經多年評估、討論後，日本政府在去年決定選用國內、外最常見的核電廠含氚廢水的排放方法，在確保廢水中的放射性核種的濃度符合標準 ^註3、沒有超標的情況下，就能將核廢水稀釋後排放到海洋。

民眾為什麼反對？

早在日本政府確定選擇「排入大海」這個方案前，就有許多反對聲浪。最主要的原因就如前面所說，福島第一核電廠核廢水和一般核電廠的廢水差異在於含有爐心熔毀釋放的人造放射性核種，氚只是這些放射性核種當中的其中一種。

即便福島第一核電廠核廢水在 ALPS 淨化處理後，除了氚以外的放射性核種濃度大幅降低，且符合科學上的排放標準，但和「沒有發生事故」的核電廠廢水相比，內容物組成還是有所不同。

不過國際原子能總署（International Atomic Energy Agency, IAEA）在今年 7 月公布的報告書表示，目前日本提出的方案符合國際安全標準，ALPS 處理水的輻射量也極低，幾乎可以無視輻射對人體或環境的影響，國際水域也幾乎不會因此受到影響。與此同時，IAEA 也會與第三方機構持續監測、分析 ALPS 處理水排放的狀況。

但上述都是關於核廢水放射性物質濃度是否符合目前科學認定的安全標準討論，撇開在科學上是否經得起檢驗、一翻兩瞪眼的檢測問題，民眾願不願意接納這些「科學上的論點」，有時還會有情感方面的考量。

對於福島漁業來說，政府好不容易才在 2021 年解除試驗性捕魚，當地漁業才正準備要復甦。更何況日本政府先前曾承諾在未取得漁業相關業者的理解之前，不會將福島第一核電廠的核廢水排入大海，但現在的態度卻是要趕在福島第一核電廠放不下更多核廢水之前，陸續將核廢水排入大海，讓當地漁業業者相當不滿。

此外，也有一派反對聲浪認為日本政府僅因經濟效益考量，而選定「排入海洋」的解決方案，考慮不夠周全、詳盡。雖然規模不同、在日本也未曾將含氚的廢水先蒸發成水蒸氣後排放，若採用這種做法或許就能大幅降低對海洋生物的危害。

也有民間團體提議，如果認為核廢水太占體積，將 ALPS 處理水混合類似水泥的材質進行固化處理，就能堆疊起來繼續存放於福島第一核電廠廠區內，而不會汙染到廠區外的環境。但上述這些做法仍有實務上的困難之處，例如廢水蒸發會影響到陸域環境、固化處理後仍會繼續消耗存放空間等。

在臺灣的我們會被影響嗎？

福島第一核電廠核廢水排放在即，臺灣行政院原子能委員會（原能會）近年多次重申福島第一核電廠的廢水是核電廠事故後的廢水，不能和一般核電廠排放的含氚廢水混為一談。

也許值得慶幸的是，臺灣和日本的直線距離雖然很近，但洋流方向卻未必如此。福島第一核電廠的核廢水排放後，會因為太平洋的環流系統流向，先往東朝美國加州附近水域擴散，再順時針繞來臺灣。

根據原能會的試算，最快要四年後才會流至臺灣附近海域，屆時放射性物質的濃度已低於儀器偵測極限，濃度低到難以被偵測，不會對臺灣附近海域造成輻射安全上的危害。

但中央研究院環境變遷研究中心研究員吳朝榮以過去觀測的海洋數值模擬，福島第一核電廠的核廢水排放後最快一年內就能抵達臺灣附近海域。

目前原能會已和漁業署、氣象局等跨部會合作監測福島第一核電廠核廢水的擴散狀況並進行漁獲、水產的輻射檢測，相關資訊都公開在「放射性物質海域擴散海洋資訊平台」隨時供民眾查閱。

在臺灣的我們暫時不需要過於擔心福島第一核電廠的核廢水會影響臺灣水域，核廢水排放海洋對環境的衝擊也會遠小於福島第一核電廠事故發生之初的狀態。臺灣方面針對日本食品的輻射檢驗標準仍高於歐、美國家，在現行邊境輻射檢驗標準下毋須過於擔心。

註解

1. 當時 4 號機組處於定期檢修期間，反應爐內並沒有燃料棒，爆炸原因為與 3 號機組共用管線。當 3 號機組爐心熔毀後，放射性物質和氫氣隨著共用管線流入 4 號機組而發生氫氣爆炸。2 號機組雖然免於廠房爆炸，但 2 號機組內部也發生爐心熔毀，當時為了釋放 2 號機組內部壓力避免發生氫氣爆炸，曾將 2 號機組內部含有放射性物質的氣體釋出，造成輻射外洩。
2. 放射性核種指的是會自然釋放輻射的放射性元素，依據這些放射性元素的形成方式，又可分為存在於自然界中的「天然核種」與「人造核種」。核電廠發電過程產生的放射性元素，都屬於人造核種。
3. 目前日本針對福島第一核電廠「核廢水」濃度規範是：
   a.針對所有放射性核種整體的有效輻射劑量須低於每年 1 毫西弗（mSv/year）。
   b.除了氚以外的其他放射性核種實際濃度佔該核種告示濃度的比值總和（稱為「告示限度比」或「告示濃度比總和」）必須＜1。

參考資料

• 行政院原子能委員會，2023 年 6 月 13 日。原能會成立跨部會合作平台，做好日本福島含氚廢水排放因應準備，行政院原子能委員會。
• 台灣科技媒體中心，2023 年 6 月 13 日。「日本將排放含氚核廢水」專家意見，台灣科技媒體中心。

• 〈本文選自《科學月刊》2023 年 9 月號〉
• 科學月刊／在一個資訊不值錢的時代中，試圖緊握那知識餘溫外，也不忘科學事實和自由價值至上的科普雜誌。