光學鑷子
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・2011/02/10
UCLA的科學家用微影術 (lithography) 做出縮小版的二十六個字母,其寬度比 10μm 還要小,線條寬度僅1 μm,懸浮於水中成為膠體溶液; 字母形狀在光學顯微鏡下能看得一清二楚。 要做出這碗濃湯,首先在磨亮的五吋晶圓上鍍上一層水溶性的高分子,接著覆上一層光阻劑 (photoresist),此光阻劑受到紫外光照射後產生交聯反應 (cross-linking) 而無法被有機溶劑溶解,因此將紫外光過濾成為字母的形狀後照射在晶圓上,再用有機溶劑處理,便可洗掉未曝光的部分而留下字母的形狀。最後再將底層的高分子用水溶掉,字母就可以散佈在水中了。